气相蒸镀及热氧化法制备锌铟氧化膜及其在气体感测器之应用研究.PDFVIP

行政院國家科學委員會補助專題研究計畫成果報告 氣相蒸鍍及熱氧化法製備鋅銦氧化膜及其在 氣體感測器之應用研究 計畫類別 ：■個別型計畫　　□整合型計畫 計劃編號 ：NSC 89-2214-E-006-045 執行期間 ：89　年　8月　 1日至　 90 年　7月　 31日 計畫主持人 ：陳進成 本成果報告包括以下應繳交之附件 ： □赴國外出差或研習心得報告一份 □赴大陸地區出差或研習心得報告一份 □出席國際學術會議心得報告及發表之論文各一份 □國際合作研究計畫國外研究報告書一份 執行單位 ：　國立成功大學化學工程學系 中　華　民　國　 90 年　9月　 6日 氣相蒸鍍及熱氧化法製備鋅銦氧化膜及其在氣體感測器之應用研究 A study of Zn and In oxided film prepared by vapor deposition and thermal oxidation and its application as a gas sensor 計劃編號 ：NSC 89-2214-E-006-045 執行期限 ：89/8/1－90/7/31 主持人 ：陳進成 成功大學化工系教授 一、中文摘要 關鍵詞( ：氣體感測器、氧化鋅、氧化銦、薄膜、 當氧化速度加快時 ，薄膜有鬚晶產生。7.內部 摻雜) 摻雜貴金屬的結果 ，感測度呈現下降的趨勢。 包含多種物質的薄膜型氣體感測器 ，比單一 表面摻雜時 ，對酒精感測度明顯下降，而對一 氧化碳 ，感測度則不受影響。 物質時常具有較佳的感測性質 ，因此近年來廣 泛的被研究 、利用。本研究利用真空蒸鍍製備 英文摘要 鋅 、銦薄膜，經由高溫熱處理及氧化製成氧化 (Keyword: gas sensor 、zinc oxide 、 indium ox- 膜 ，再系統化的探討薄膜的鍍膜順序、膜厚、 ide 、 thin film 、doping) 原子比 、蒸鍍速率、氧化條件、以貴金屬進行 內部化外部的摻雜等製程條件對感測性質的影 Thin film gas sensor made of multicomponent 響 。 oxides posses better sensitivity than that of single component oxide. It has been intensively studied 實驗結果顯示 ：1.在外觀形態上 ，液滴隨膜 and widely applied. In the study, the ZnO and 厚增加而增大 ，且液滴間互相連結作用越明顯； In O thin films were prepared by vacuum deposi-