低温泵知识讲座.pdfVIP

浙江博开机电科技有限公司 Email: marketing@ 低温泵知识讲座 陈家富 一、低温真空泵结构与工作原理 1、低温泵的结构 低温泵又叫低温真空泵、冷泵、冷凝泵。 低温泵的冷源可以是低温液体（液氮或液氦）， 也可以是低温制冷机。这里介绍制冷机型低温 泵，这种低温泵的制冷机在两个温度级上产生 制冷，分别冷却两个低温表面，被抽的气体就 被冷却在低温表面上。 制冷机的一级通常工作在50K－70K 范围， 它用来冷却靠外的冷板，这个外部冷板既为更 冷的冷板充当防辐射的屏蔽，同时又用来冷却 挡在泵入口处的百叶窗（障板），当水蒸汽碰到 障板上时就被冷冻在它上面，这极像液氮冷阱 冷冻水蒸气的情形。 制冷机的二级，即最冷的一级，通常工作在10K－20K 之间，用来冷却靠内的冷板，它 冷冻穿过百叶窗的 N 、O 、Ar 等气体。不能被这一温度冷冻的气体被位于冷板内部的活性 2 2 炭吸附。 2、低温泵工作原理 1）低温泵抽气机理之一：低温冷凝 上图表示低温泵把真空室内的压力降到极低水平的能力。它表示了低温沉积层上面平 浙江博开机电科技有限公司 Email: marketing@ 衡压力和低温沉积温度之间的关系。例如：水在 760Torr 压力下在373K 沸腾。在273K 的 -8 结冰温度上蒸汽压为4Torr。如果冰层被进一步冷却到150K，平衡蒸汽压将为4×10 Torr。 -10 如果在制冷机一级温度上，压力将低于 10 托数量级。从这个图上我们也可看出，对N 来 2 -10 说，如果冷板温度小于等于20K，压力将小于10 托。 2）低温泵抽气机理之二：低温吸附 单用低温冷凝是不够的，Ne、H 、He 等气体在20K 的平衡蒸汽压力太高了，不能被低 2、 温冷凝在光的表面上，因而，用活性炭来吸附这些气体。用活性炭作吸附材料是因为它有 大的表面面积，也因为再生过程中它在室温下气体能很容易地脱附。吸附在活性炭上的氢 的平衡压力决定于活性炭温度和已吸附的氢的量。随着吸附的氢的增加，吸附就变为在活 性炭表面的冷凝。但冷凝层厚度增加时压力不变。活性炭抽氢能力很大，如果制冷机把 1 -6 克活性炭保持在15K，它可以在10 托吸住280SCC 的氢。低温泵能够吸住气体的最大量（抽 气容量）是指对特定的气体种类的抽吸能力，也就是低温泵被再生前抽除的气体的体积。 3、低温制冷机工作原理 低温泵用小型低温制冷机采用的是吉福特-麦克马洪循环，利用西蒙膨胀原理（即绝热 放气）来制冷的。主要由冷头单元、压缩机单元、控制单元、金属连接软管等组成。其中， 控制单元一般安装在压缩机单元