透射电子显微镜（TEM）的结构与工作原理教学课件.ppt

TEM成像原理 阿贝成像原理的两步过程 Airy斑与分辨率 Airy斑与分辨率 电子波波长与TEM理论分辨极限 电子波波长与TEM理论分辨极限 电磁透镜的像差与实际分辨本领 电磁透镜的像差 电磁透镜的像差 电磁透镜的像差 分辨本领 电磁透镜的分辨本领 电磁透镜的景深和焦长 静电透镜 将两个同轴圆筒带上不同电荷（处于不同电位），两个圆筒之间形成一系列弧形等电位面族，当电子在电场中运动，由于电场力的作用，电子会发生折射。散射的电子在圆筒内运动时受电场力作用在等电位面处发生折射并会聚于一点。这样就构成了一个最简单的静电透镜。 透射电子显微镜中的电子枪一般采用静电透镜形式。 电磁透镜 电磁透镜的焦距 电磁透镜的放大倍数 中心暗场成像方法 汇聚束电子衍射成像（CBED） 相机常数选择 由于STEM HAADF像是非相干像，相机常数必须足够小，使所有的衍射盘落入环形探测器内孔之中。 TEM与STEM分析特点比较 试样 物镜 后焦面 像平面 入射电子束 TEM成像原理 试样 像平面 入射电子束 STEM成像原理 TEM-HREM：平行电子束入射样品上，多束成像（至少两束），相干像，图像衬度随着样品厚度和欠焦量变化发生反转； STEM-HAADF：会聚电子束在样品上逐点扫描，主要收集大散射 角电子束，形成非相干像，图像随着样品厚度和欠焦量变化出现或不出现； STEM-BF：会聚电子束在样品上逐点扫描，主要收集相干束成像，图像随着样品厚度和欠焦量变化出现或不出现是fake TEM； HRTEM、STEM-HAADF、STEM-BF小结 （000） （hkl） （000） （hkl） 与扫描电镜不同，透射电镜的放大倍数将随样品平面高度、加速电压、透镜电流而变化，必须进行标定。 放大倍数 最常用的方法是用衍射光栅复型作为标样，在一定条件(加速电压、透镜电流等)下，拍摄标样的放大像。 如果对样品放大倍数的精度要求较高，可以在样品表而上放少量尺寸均匀、并精确已知球径的塑料小球作为内标准测定放大倍数。 透射电镜的放大倍数需要经常校准。 透射电镜的主要部件---样品杆 样品台的作用是承载样品，并使样品能作平移、倾斜、旋转，以选择感兴趣的样品区域或位向进行观察分析。 透射电镜的主要部件---样品杆 透射电镜的样品是放置在物镜的上下极靴之间，由于这里的空间很小，所以透射电镜的样品也很小，通常是直径3mm的薄片。 双倾样品台可绕独立的X、Y轴倾斜±30°。 透射电镜的主要部件---消像散器 消像散器可以是机械式的，可以是电磁式的。机械式的是在电磁透镜的磁场周围放置几块位置可以调节的导磁体，用它们来吸引一部分磁场，把固有的椭圆形磁场校正成接近旋转对称的磁场。电磁式的是通过电磁极间的吸引和排斥来校正椭圆形磁场的 Thanks 中间镜 作用：（1）调节放大倍数； （2）改变成像方式。 属弱激磁长焦距变倍透镜。 M2 = 0～20倍。 当M>1时，用来进一步放大物镜的像； 当M<1时，用来缩小物镜的像。 在电镜操作过程中，主要利用中间镜的可变倍率来控制电镜放大倍数。 如果把中间镜的物平面和物镜的像平面重合，则在荧光屏上得到一幅放大像，这就是电子显微镜中的成像操作。 如果把中间镜的物平面和物镜的后焦面重合，则在荧光屏上得到一幅电子衍射花样，这就是电子显微镜中的电子衍射操作。 中国科学技术大学力学和机械工程系 投影镜 投影镜的作用是把经中间镜放大（或缩小）的像（电子衍射花样）进一步放大，并投影到荧光屏上。 与物镜一样，是一个短焦距的强磁透镜。投影镜的激磁电流是固定的。因为成像电子束进入投影镜时孔镜角很小（约10-3rad）, 因此景深和焦距都非常大。即使改变中间镜的放大倍数，其像平面也不会溢出投影镜景深范围，对图像的分辨率不产生影响，因此，在荧光屏上的图像仍然是清晰的。 M3＝100～300倍 成像系统总放大倍数 M=M1?M2?M3 物镜光阑 位置：物镜后焦面位置。 作用： ①减少物镜的球差、像散和色差； 提高图像衬度； 进行明、暗场及衍射衬度成像操作切换。 样品 物镜 物镜光阑 消象散器 中间镜 投影镜 荧光屏 物镜光阑又称为衬度光阑。 电子束通过薄膜样品后产生散射和衍射。散射角(或衍射角)较大的电子被光阑挡住，不能继续进入镜筒成像，从而在像平面上形成具有一定衬度的图像。光阑孔越小，被挡去的电子越多，图像的衬度就越大。加入物镜光阑使物镜孔径角减小，能减小像差，得到质量较高的显微图像。 质厚衬度成像原理 ＋