[工学]第三章 MOSFET物理与特性.pdf

辽宁工程技术大学 第3章 MOSFET 物理与特性 电信学院张沛泓 教学目的及要求 通过本章的学习，要求了解MOS的基本结 构及其特性，从MOS的基础物理特性开始，进 一步熟悉MOS的基本物理和电学特性，掌握PN 结的电学特性 ，掌握小尺寸FET的物理和电学 特性，熟悉FET的开关和电学特性，了解MOS 的几种基本物理结构及其SPICE模型。 2011-03-20 VLSI设计 2 本章参考书 John P. Uyemura, Introduction to VLSI Circuits and Systems, John Wiley Sons, Inc., 2002. Chapters 3. 中译本：周润德译，超大规模集成电路与系统导 论，电子工业出版社，2004.1 。第3章。 Jan M.Rabaey et al. ，Digital Integrated Circuit ：A Design Perspective ，2rd Edition ，Anantha handrakasan ，Borivoje Nikolic ，2003. Chapters 3 。 中译本：周润德等译，数字集成电路- 电路、系统 与设计，电子工业出版社，2004.10 。第3章。 2011-03-20 VLSI设计 3 教学重点及难点 重点 PN结 MOSFET物理学 小尺寸FET FET开关特性 难点 PN结 小尺寸FET FET开关特性 2011-03-20 VLSI设计 4 本章纲要 1 概述 2 半导体物理基础 6 小尺寸FET 7 pFET I-V特性 3 PN结 4 MOSFET物理学 8 FET开关特性 5 nFET I-V特性 9 CMOS物理结构 10 SPICE模型 2011-03-20 VLSI设计 5 本章纲要 1 概述 2 半导体物理基础 6 小尺寸FET 7 pFET I-V特性 3 PN结 4 MOSFET物理学 8 FET开关特性 5 nFET I-V特性 9 CMOS物理结构 10 SPICE模型 2011-03-20 VLSI设计 6