拆、装炉注意事项与卫生要求.docVIP

拆、装炉注意事项与卫生要求 目的:减少违章操作、控制工伤事故、更高效快捷的完成工作 具体步骤：工具准备、取棒、拆炉、卫生要求、装炉与注意事项 工具准备：拆炉前把拆炉小车、工具、耐高温手套、老保用品准备好放在要拆炉子旁边 取棒：取棒前用氩气冲开至压力表指针到零，手按晶快升，看着晶体上升到副室内（注意：严禁卡、压拉速器、人不在炉旁造成人为掉晶棒，防止烫伤、砸伤人）合上炉盖插板阀，挡好副室挡板用螺丝刀等工具稳住晶棒移至单晶炉后侧手动下降晶体至晶棒筐内，在剪籽晶时，两个人操作，一个手扶好晶棒，另一个人一手把住重锺，一手剪断籽晶(注意：切勿图一时方便用硬物、搬手敲打籽晶使其断裂，这样很容易造成籽晶内裂，在后续拉晶过程中掉晶棒出现事故，一定要用指定的老虎钳去操作) 拆炉（小拆）：推开炉盖，戴上高温手套依次取出导流筒、上保温盖、坩埚与埚底料、三瓣埚、上保温筒埚托拿到石墨件车间进行清理 （大拆）拆完小拆部分上升炉筒（注意：上升炉筒时一定要把炉盖向单晶炉后侧推，防止在上升炉筒时撞坏流量计。）用工具依次托杆、加热器、中保温筒、下保温筒、上下压片、电极、埚杆护套、石英护套、炉底碳毡。 卫生要求：用长竹竿包上纤维纸用酒精对副室进行擦拭，由上至下一圈圈擦。对重锺进行打磨。特别是夹头与重锺接口处要特别清理。对炉盖用酒精擦干净死角处着重清理，炉胫、炉胫二次加料的圆环、观察窗与摄像头观察窗里面进行仔细清理，炉筒用沙纸把氧化物清理干净光亮出本色，用纤维纸进行擦拭， 由上至下一圈圈擦不要左右上下乱擦，这样氧化物还是会附着在炉壁上跟本擦不干净。死角测温孔与用沙纸仔细打磨。下炉筒卫生重点，铜电极接触面要打磨出本色，（注意这里一定要清理干净，要不然很容易造成加热器打火）排气孔要把所有氧化物全部清理干净要有沙纸进行打磨，清理一定要彻底防止氧化物堆积造成炉排气不畅影响拉晶，两侧排气管道与十字架要用钢丝球吸管把里面氧化物清理干净，波纹管要用钢丝球通几下，保证管道畅通。炉底过滤筒每炉都要进行清理，长时间不清理大量的氧化物会进入真空泵影响真空与抽速。石墨件清理，石墨件上的氧化物要清理干净，标准，打磨出本色黑色，对加热器要着重清理加热器缝隙，防止加热器过早老化变形影响拉晶，或温度不稳。石墨毡上的粉尘氧化物要用吸管吸走。对石墨电极接触面进行打磨。防止接触不良造成打火。 装炉;依次装入电极（注意：铜电极一定要打磨成本色在装入电极时要垫上一个碳铂片）、炉底碳毡、下压片、上压片碳毡、上压片、电极护套、石英护套、埚杆护套、下保温筒（装下保温筒时重点要与排气孔对齐防止堵塞影响真空）中保温筒（重点1是测温孔是否对齐，2如没有对齐在移动中保温筒时一定要抬起来转动不要在下保温筒上旋转，这样很容易连下保温筒一起转动。造成排气孔对偏，这也是为什么明明装炉时对的很正但拆炉时发现没有对好的原因）加热器（装放前要对加热器是否完好老化进行检查，无问题进行按装，要对加热器一角进行打磨目的为了更好的与电极接触防止打火。加热器与电极之间要放垫片）托杆（螺丝要拧紧，达到托杆不晃动的程度。防止开炉后液面抖动影响拉晶）埚托、三瓣埚、上保温筒。（在装入任何一件石磨件时都要检查其完好完整性。如有石墨件老化变形如加热器，三瓣埚。一定要更换掉，不要让他们坏在炉子里。）