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在过去的50多年中 为何涡轮分子泵会有这样的称谓！ 历史 早在 1916 年，盖德就已经开发出结合不同几何形状的泵，这要求 固定和旋转部件之间的间隙非常窄。 1945 年，当威尔·贝克(Willi Becker)博士担任亚瑟普发有限公司 (Arthur Pfeiffer GmbH)实验室的负责人时，他对制造各种类型的泵 这种设计导致即使微小的微粒状物质也会造成非常高的破坏风险。 都感兴趣。为了改进油扩散泵，贝克设计了一个旋转的挡板，其目 而新泵则不具备这一致命缺点。为了区分新泵，它被赋予了前缀“ 的是保持泵的油分子远离容器。它由一个旋转叶轮和一个具有轴向 涡轮”，因为它的设计让人想起涡轮机。 反转叶片的静止定子组成。 1958 年亚瑟普发有限公司开发出了涡轮分子泵。当时的目的是为 贝克发现这样可以在分子层级实现相当大的压缩比。因此，设计一 了产生无烃真空。如今，普发真空的涡轮分子泵是高度可靠、具有 款将多级以串联的方式连接起来的泵成为一个突破。这种泵内的油