思肯德测厚仪培训讲义(new 手动).ppt

2009-11-1 MICHAEL 2009-11-1 SCANTECH TRAINING 思肯德测厚仪操作及维护培训讲义 培训人：赵俊强 日期：2009-11-14 测厚仪操作及维护培训讲义 目录 软件界面说明 创建配方步骤 做机械校正的步骤 做系数校正的步骤 测厚仪操作及维护培训讲义 测厚仪操作及维护培训讲义 一. 在主界面中点击“维护” 菜单 ，出来如下界面 测厚仪操作及维护培训讲义 创建配方的步骤 二. 主画面点击“配方” 图标 ，并选择“产品”出现如下画面 测厚仪操作及维护培训讲义 三. 在上图中点击“添加” 图标 ，出现如下画面 测厚仪操作及维护培训讲义 五. 完成上面操作后，点击“设备”会出现以下画面 测厚仪操作及维护培训讲义 六. 在如下界面中点击“新建”按钮 测厚仪操作及维护培训讲义 七. 在该界面中点击“Flow model” 测厚仪操作及维护培训讲义 八. 此时在配方的界面中已有刚才新建的Mapping表供选择 测厚仪操作及维护培训讲义 做机械校正的步骤 做机械校正最好是在设备停机之后，测厚仪扫描10分钟之后就进行校正，如果是长时间没有开测厚仪，要做机械校正时需要先把测厚仪开起来，让测厚仪达到热态的时候在进行机械校正（一般最少要扫描30分钟之后再做）。 一.在主画面里点击“命令”菜单 ，出来如下界面 测厚仪操作及维护培训讲义 测厚仪操作及维护培训讲义 测厚仪操作及维护培训讲义 测厚仪操作及维护培训讲义 做系数校正步骤 一 在生产薄膜厚度稳定后，我们将测厚仪测量到的平均厚度和实验室卡尺测到的厚度值输入下图，从而计算出校正系数值。（由于不同材料的吸收率不同，所以再客户更改配方后，需要做新的校正系数，以保证测厚仪的测量值和实验室的测量值一致） 测厚仪操作及维护培训讲义 二 在“操作者”菜单界面下，输入测厚仪的测量值和机械卡尺的测量值，计算薄膜的校正系数，点击“应用”投入使用 * * 软件界面说明 在做mapping表前，我们需要在这里记录几个数据在该界面中可以计算出“薄膜宽度”和“偏移量”的值，我们要多观察几次，确定左边和右边的值没有大的变化，膜宽已经稳定 四. 点击确定后，出现以下画面 弹出如下对话框，在该界面中输入你要创建的mapping表的名称,然后点击“确认”按钮 弹出如右图对话框，依次输入模头宽度，左边所堵螺栓数和右边所堵螺栓数及薄膜宽度，如果没有堵住模头，则该第2，3框里值为0；在“膜宽”栏输入薄膜的实际宽度。点击确认。将我们记录的左边值输入到偏移量数字框内，然后点击有效的，再点击右上角绿色退出按钮。 选择相应的mapping表参数后一定要点击按钮“有效的”保存该设置，完成该步骤后，一个有效的配方已生成。注意mapping对应的配方名，这样我们才能准确的使用标尺。完成以上步骤后点击离开，然后点击开始产品按钮，选择我们mapping对应的配方名，点击开始，我们就可以在每一个曲线窗口调出我们新建的标尺了。 二.点击上图的XTI,出现下图，测厚仪扫描半个小时后点击下图的机械校正按钮 三.点击机械校正按钮后，测厚仪会自动回原位，预热90秒后进行机械校正，来回扫描5次之后机械校正结束。。校正完成后测厚仪会自动停止在停放端。做机械校正最好是在生产线停机后让测厚仪扫描10-20钟后进行。 四.主画面中点击“维护”菜单 ，在弹出的界面中点击“XTI”，再点击“机械校正”中的“刷新”按钮，刚才做的机械校图将会出现，如下画面所示（途中的Berthet系数要小于0.2；如果红色蓝色曲线重合型不好，应重新进行机械校正） 注意：机械校正是在没有薄膜的情况下进行的，机械校正过程中不应让测厚仪机架移动。