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2016 年 第16 期 总第32 期 2016.08.16 表面技术装备简讯 Newsletter of Surfacility 技术交流 1、溅射电压的高低与膜层质量好坏有什么关系？ 存在一个最优溅射电压，大了反而不利于溅射，在一定范围内，电压提高有 利于成膜质量的改善。当缓慢增加电流，而电压变化不大时，是最佳溅射区间； 继续增加电流，在某一点位，电压突然急剧增加，甚至跳靶，就超出最佳溅射区 间了。磁控溅射电压高了不仅不会产生注入效果，反而会降低沉积速率。 2、镀膜温度影响了成膜时的原子结构，那么有没有可以代替加热的办法？ 可以尝试用小弧或者平面弧来控制温度，再加个离子源来保证膜层硬度和结 合力，但是要完全达到高温的效果是不现实的。 3、加工AlCrN 膜的情况下，退模出来产品全花，而CrN 膜就没问题。可能的原 因是什么？ 可能是由于CrAl 的隔热性更好，导致产品冷却不及时造成的。 4、电子枪上的紫铜有没有具体型号？ 没有具体型号，一般来说无氧铜就可以。 5、关于弧前的环向霍尔电流的讨论： 在真空中电弧放电所产生的镀膜介质——局部高度电离的等离子体，局部荷 电粒子在电磁场中处于漂移的理论控制范围，在横向电磁分量和垂直电场分量的 作用下，产生环向等离子体的运动和没有电极的环向电流，该电流值在有利的条 件下可高出电弧电流几十倍，形成环向切割横向磁场分量的导体 （环向切割横向 磁场分量的导体内有霍耳电流），从而使该等离子体产生轴向加速度。注意不要 将这种加速的等离子体的作用与负偏压在工件表面外德拜层内形成的对表面的 轰击作用相混淆。 技术新闻 1、东旭光电推出了世界首款石墨烯基锂离子电池产品： 作为世界首款石墨烯基锂离子电池产品，该产品性能优良，可在-30℃—80℃ 环境下工作，电池循环寿命高达3500 次左右，充电效率是普通充电产品的24倍。。 2016 年 第16 期 总第32 期 2016.08.16 详见： /s?__biz=MzA4ODE2MjcwMw==mid=2655938950idx=1sn=ef26a 955d538e77f5ff6e9scene=1srcid=0730xILjKdXfSTVcQLyzJSA9#wechat_redirec t 2、工业4.0 将使制造业回归市场所在地： 这场改革的主体，是拥有自动规范流程，机器人能透过云端服务彼此更新作 业方式，依赖高技能工程师多于廉价劳工的全自动工厂，这就意味着制造业将会 向市场所在地靠拢。 详见： /s?__biz=MjM5NDM4NjQyNA==mid=2650902272idx=1sn=c63b 4775cea5b181cea53e060bfdb224scene=1srcid=0805j4YxNmWarFsTTH815J9c#wechat_redir ect 学会动态 1、欢迎参加第十一届全国表面工程大会表面工程装备技术论坛及表面技术装备 专委会委员会议，该会将于2016 年10 月23—24 日在四川成都举办，会议主题： 融合。期间，王殿儒教授主持专题讨论会。详情请参看第二轮通知。 /index.php?g=m=articlea=indexid=151 2 、Surfacility 检测平台初具规模，开始运行。本简讯期间，新增检测仪器：三维 轮廓仪。感谢大家的支持，如有建议或意见，请发邮件至：surfacility@163.com 第三方会议通知 (1) 欢迎参加第十一届全国表面工程大会暨第八届全国青年表面工程学术会议， 该会将于2016 年10 月22—25 日在四川成都举办： (2) 国际电致变色会议将于2016 年8 月底在荷兰举行； (3) 第 19 届世界表面精饰大会暨展览会将于2016 年9 月20-2