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终点控制：等离子蚀刻 Top RF generate the plasma and control density Bottom RF provide ion energy and directionality to the wafer Temperature-controlled ESC to hold wafer and He cooling * 终点控制：等离子蚀刻 Plasma glow when excited ions/neutrals relax back to ground state resulting in photon emission OES can monitor what is happening in the plasma and infer what is happening on the wafer surface When emission peak(s) relevant to a species that being etched or in the underlying film, the disappearance or appearance provide endpoint signal * 微纳制造过程控制 * 观测器 多尺度方法 多尺度方法是应对微纳制造过程实时测量与控制挑战的关键手段之一 时间尺度 空间尺度 ×106 宏观系统Macroscopic System 微观系统Microscopic System 多尺度系统Multiscale System 毫米mm 秒s 宏观尺度Macroscopic Scale 纳米nm 微秒μs 微观尺度Microscopic Scale 控制器 传感器 多尺度模型 多尺度模型 * 多尺度系统建模、仿真与控制 高计算效率建模 宏观系统：基于模态分解（Modal Decomposition）的偏微分方程（PDE）系统降阶建模（Reduced Order Modeling） 微观系统：基于随机偏微分方程（stochastic PDE）系统的马尔科夫过程（Markov Process）建模 仿真计算并行化 宏观系统：有限元（Finite Element）仿真并行计算 微观系统：动力学蒙特卡洛（Kinetic Monte Carlo）仿真并行计算 多尺度模型预测控制 基于降阶PDE-sPDE多尺度模型的模型预测控制（Model Predictive Control） * 间歇过程控制 间歇过程概述 间歇过程批间控制 间歇过程实时控制 间歇过程产品质量控制 * 统计过程控制（Statistical Process Control） 统计过程控制是指应用统计技巧控制过程的方法，是间歇过程质量控制的最主要手段之一 统计过程控制不同于质量监测，重在维持过程的稳定而非剔除次品 * 统计过程控制的基本原理 * 间歇过程控制小结 间歇生产过程对物料经行分批次、分步骤的处理和加工的方式，具有高度的灵活性，特别适合高附加值、多功能、多品种、小批量的柔性生产，在工业生产中的地位也越来越重要。 间歇生产过程往往具有高度的复杂性，需要结合生产调度、批次间控制、批次内控制、统计过程控制等多层次多角度的控制方案来保证产品质量及其一致性。 间歇生产过程中产品质量参数缺乏实时测量手段，然而生产设备及过程特性会发生漂移，批间控制能根据产品质量的历史信息调整工艺参数，有效降低产品指标波动。 * * * * * * * * * 倪东 浙江大学控制学院 2017/06/01 间歇过程控制 间歇过程概述 间歇过程批间控制 间歇过程实时控制 间歇过程产品质量控制 * 间歇过程（Batch Process） “A process that leads to the production of finite quantities of material by subjecting quantities of input materials to an ordered set of processing activities over a finite period of time using one or more pieces of equipment” (Instrument Society of America, 1995) 将有限的物料按照规定的加工顺序在一个或者多个设备中进行有限时长加工以获得有限量产品的工业过程。 广泛应用于医药、化工、食品、轻工及以半导体集成电路制造为代表的一大批新兴先进制造行业。 * cycle 间歇生产过程的特点 通过顺序执行一系列加工步骤来获得预期的产品及性能 每批产品在每道工序的加工（或称cycl