CCD对位方法.ppt

CCD 对位 板子，底片对位 对位的目标 找出板子与菲林的最佳对位点 尽量均分由于板子或者菲林带入的偏差 内层模式 上/下 : 上与下菲林对位 CCD在同一面 为背光系统 外层模式 绿油工序 坐标系统 (O,x,y) : 机台的坐标系统 (Oi,xi,yi) : 第i个CCD的坐标系统 (XCi,YCi) : 第i个CCD的中心(Oi)在机台系统(O,x,y)中的坐标 Ti : 第i个CCD 在机台系统(O,x,y) 中的方向（角度） (XTi,YTi) : 第i个标靶在机台系统(Oi,xi,yi) 的坐标 (XT,YT) :标靶在机台系统(O,x,y)的坐标 dX, dY, dD and dT参数 dXi : 第i个CCD中标靶在X方向上的差值 dYi : 第i个CCD中标靶在Y方向上的差值. O1 : 第一个对位元素的中心inertia center of the element 1 targets. O2 : 第二个对位元素的中心. dX : O1 和 O2 在X 方向的差值. dY : O1 和 O2 在Y 方向的差值.. dT :两对位元素的夹角. 理想对位 因工艺引入误差 理想对位并不存在: 菲要变形 钻孔的准确度 标靶的绘制 … dT 的计算 (XTij,YTij) : 第i个元素标靶在第j个CCD里的坐标 Tijk : angle between element i targets on cameras j and k and the (O,x) axis 第i个元素标靶在第j个及第K个CCD在（O,x）上的夹角 条件 : 1 = i = 2 1 = j = 4 1 = k = 4 j k dE 参数 (XTij,YTij) : 第i个元素标靶在第j个CCD里的坐标 Eijk : 第i个元素标靶在第j个及第k个CCD之间的距离 条件 : 1 = i = 2 1 = j = 4 1 = k = 4 j k 局部参数 : dXi,dYi and dDi dXi :第i个CCD里，标靶之间在X方向上的距离 dYi : 第i个CCD里，标靶之间在Y方向上的距离 dDi : 第i个CCD里，标靶之间的距离 公差 dX/dY 公差 : Tol1 (μm) -Tol1= dX =Tol1 -Tol1= dY =Tol1 dT公差: Tol3 (μrad) -Tol3 = dT = Tol3 dE公差: Tol2 (μm) 0 = dE = Tol2 dDi公差: Tol4 (μm) 0 = dDi = Tol4 公差 系数 系数 1 (C1) : 缩小dX/dY, dT 在对位的过程中的公差值 被应用于所有的对位(U/P, L/P and U/L) 可以避免有些板被拒曝 0.5 = C1 = 1 系数 2 (C2) : 扩大dX/dY, dT, dE 和 dD 在对位过程中的校正及确认的公差 仅被用于板子对底片(U/P, L/P). C2 = 1 偏移量 不同的偏移量 对位 / 确认 * * TECHNICAL SUPPORT Written by: Dr Thierry Capentier Rev. A Date: 18/08/2007 Doc n° ATS-TS-008S 上菲林 板子 下菲林 上菲林 板子 下菲林 U/L : 上与下菲林对位 U/P : 上菲林与板子对位 L/P : 下菲林与板子对位 CCD在同一面 为背光系统 菲林 板子 U/P : 上菲林与板子对位 L/P :下菲林与板子对位 上一面及下一面均有CCD 直光系统 YCi XCi XTi YTi Oi Xi Ti O X Y Clamping system Exposed area Camera i field of view YT XT XT = XCi + XTi . Cos(Ti) – YTi . Sin(Ti) YT = YCi + XTi . Sin(Ti) + YTi . Cos(Ti) dX = (dX1 + dX2 + dX3 + dX4)/4 dY = (dY1 + dY2 + dY3 + dY4)/4 dD = (dX2 + dY2)1/2 O X Y dY1 dX1 dX2 dY2 dT dY dX dY3 dX4 dY4 O1 O2 Panel Artwork dX3 O X Y O1 O2 Panel Artwork O X Y dT O1 O2 Panel Artwork O1 = O2 dX = 0 , dY = 0 and dD = 0 dT = 0 O X Y O1 O2 Panel Artwork O X Y O1 O