扫描探针显微镜SPA400测试与性能调校学生.pdf

應用物理系 專題研究報告： 掃描探針顯微鏡 SPA400測試與性能調校 學生：羅令崴 指導教授：林明農 博士 一、 研究背景 隨著時代的進步，人們的需求也愈來愈大，相對於所需的空間也愈來愈多，為了符合生活上的需求，因此生活 上所需的物品也日漸微小化。在微觀的尺度下，很多物質的性質並不如我們在巨觀時所看到的一樣，因此在我們將 東西微小化前，必須先了解這些物質在圍觀時的物理特性。奈米科技在近幾年蓬勃發展，成為了科學中很重要的一 環，它不但涉及物理，甚至是化學及生物，是涉及很廣的一門領域奈米科技中最著名的一個效應為蓮花效應（Lotus Effect ），這個效應說明了奈米結構自潔的一個特性。因此，要了解圍觀尺度下的特性，研究奈米科技的研究是目前 最適合不過的研究，奈米結構的研究也成為了當下一項熱門的課題之ㄧ。 指導教授林明農老師於 2005 年10月購置儀器，掃描探針顯微鏡（Scanning Probe Microscope ）簡稱SPM ， 型號 SPA400 。自己除了對奈米結構產生興趣外，老師也指定我負責此儀器及建立、管理奈米實驗室，並由儀器驗 收開始便參與性能之測試，勝任高等物理實驗課助教，寫下簡易操作說明供同學及學弟妹使用儀器時參考，並指導 我做些許的研究及分析。 二、 研究工具及方法 甲、 研究工具 使用 SPM 為工具，含有型 號 SPI3800N 探測器及型號SPA400 系統設備作為分析及研究工具，而探測器中的掃 描型式為 20μm Scanner ，20μm則代表掃瞄器在 Z軸方向的最大伸縮尺度。探針型式 依操作模式為 AFM 不導電型SN-AF01 、AFM 鍍Au 導電型SI-AF01A 、DFM 鍍Al 導電型SI-DF20、MFM鍍Mag 導電型SI-MF20 ，樣品型貌檔案紀錄形式為Topography 。 乙、 儀器歷史背景簡述 1887 年 Gerd Binnig 還是大學研究所的研究生，有一天 Heinrich Rohrer 至 Gerd Binnig的大學做專題 演講，介紹 IBM準備在蘇黎世建立專門研究固體表面的實驗室，在討論時 Gerd Binnig建議利用量子現象中的 真空穿隧效應來設計一新的研究工具，這個想法深獲Heinrich Rohrer的贊同。 經過兩年多來的嘗試與改進，1981 年3月 12日 Gerd Binnig及 Heinrich Rohrer首次用 XY圖形記錄器清 楚地證實了穿隧電流的產生，電子通過了真空位能障壁。數週後，他們清晰、明確而且可以重複地包含了金晶 體表面兩台地間的原子台階。 1981 年在瑞士蘇黎士的IBM實驗室正式發表掃瞄式穿隧顯微鏡（ Scanning Tunneling Microscope ），簡 稱 STM 。但由於觀察的樣品必須具有一定程度的導電性，對於半導體而言，觀測的效果就差於導體；對於絕緣 體則根本無法直接觀察。 1985 年，Binnig 與蘇黎士IBM實驗室的 Christoph Gerber及美國史丹佛大學的 Calvin F. Quate 共同開發 原子力顯微鏡（Atomic Force Microscope ）簡稱AFM ，是應用最廣的局部探針技術。利用探針針尖和待測試樣 品間凡得瓦作用力的強弱，得知樣本表面的起伏高低和幾何形狀，而且樣本可為導體或非導體，更解決了 STM 在材料上的限制。 原子力顯微鏡分三類，分別是接觸式原子力顯微鏡(Contact AFM) ，非接觸式原子力顯微鏡(Non-Contact AFM) ，輕敲式原子力顯微鏡(Tapping-Mode AFM) ，其中輕敲式又簡稱為DFM （Dynamic Force Microscope ）。 丙、 AFM 工作原理 利用特製的微小探針，來偵測探針與樣品表面間的凡得瓦作用力，然 後使用一個具有三軸位移的壓電陶瓷掃描器（ PZT Scanner ），使探針在 樣品表面來回掃描偵測，並利用此掃描器的垂直微調能力及回饋迴路，讓 探針與樣品間的交互作用力在掃描過程中保持一定距離（約10-10m ），只 要紀錄掃描面上每一點的垂直微調距離，便可獲得樣品表面的等交互作用 圖像，進而推導出樣品高度影像及表面特性。 訊號接收是利用光槓桿原理，以四象限光電二極體偵測器（ Photodiode ）來接收探針起伏的訊號。以雷射 對準探針頂端，校對探針位置，再以四象限偵測器來接收自探針端反射的雷射