smt静电防护及作业要求推荐.docVIP

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smt静电防护及作业要求推荐

序 言 ????随?着微电子工业制造技术?的飞速发展,集成电路?的集成度不断提高,采?用 0.1 5~0.?25m m制造工艺的?CMOS和GaAs(?砷化镓)器件被广泛使?用,其耐击穿电压下限?通常只有50V~10?0V。有着更高集成度?的超高速、高频IC器?件,采用了特殊的制造?工艺,如薄膜技术、浅?PN结、GaAs材料?、微小封装等,其对E?SD、电浪涌、机械应?力、热应力等更为敏感?,有的VMOS器件耐?压只有30V。这就给?含有上述静电敏感器件?产品的生产制造过程提?出了更严格的静电防护?要求。 A、静电现?象 一、何为静电?? ????静电就是?物体表面过剩或不足的?相对静止电荷,它是电?能的一种表现形式。静?电是正负电荷在局部范?围内失去平衡的结果,?是通过电子转移而形成?的。这些不平衡的电荷?,就产生了一个可以衡?量其大小的电场,称为?静电场,它能影响一定?距离内的其它物体,使?之感应带电,影响距离?之远近与其电量的多少?有关。 二、静电放?电(ESD)现象 ?????静电放电(E?SD),就是具有不同?静电势的实体之间发生?电荷转移。例如: ?1、雷电。 2、小?实验:有机玻璃用丝绸?或棉布摩擦后产生静电?,能吸住小纸屑。 ?3、在空气较干燥的冬?天,脱下合成纤维衣服?时发出劈啪声,夜间可?见火花(空气击穿场强?为30KV/cm)。? 4、穿化纤内衣容?易皮肤过敏是怎么回事??换棉质内衣试试! ? 三、静电的可利用之?处与危害 可利用之?处:力学效应 —— ?异性相吸,同性相斥 ? ????静电吸附特?性已被 广泛用于静电?成像、复印、喷涂、植?绒、除尘等实践中。 ? 静电的危害: ?????就电子工业而言?,静电放电能够改变半?导体器件的电气特性,?使之退化或者完全毁掉?。静电放电还可能干扰?电子系统的正常运行,?导致器件故障或瘫痪。? 1、第一艘阿波罗?载人宇宙飞船,由于静?电放电(ESD)导致?火灾和爆炸,三名宇航?名全部丧生。 2、?日本IC生产中的不合?格器件有45%是由静?电造成的。 3、8?8年美国因ESD影响?损失50亿美元。 ?4、90年代初北京某?公司试生产的高档数字?万用表,由于IC没注?意防静电,使其产品大?部分不合格。 5、?华为公司:① 今年3?月份某批含E-5射频?放大器的GSM单板失?效率达15%,失效形?式表现为功能完全丧失?,分析表明是受偶然的?电浪涌烧伤,如漏电、?ESD所致。② 也是?3月份,某批CC08?ASL用户板上二极管?RD5和RD6不良率?达90%,经分析确定?为静电损伤。 6、?工业领域的有关专家曾?作过估计,由于静电所?造成的平均产品损失大?约在8~33%之间,?见下表:静电平均损失?报告 描述 最小损?失 最大损失 估计平?均损失 制造商 4?% 97% 16-2?2% 分包商 3%? 70% 9-15%? 承包商 2% 3?5% 8-14% ?用户 5% 70% ?27-33% 数据?来源: Stephe?n Halperin?《Guideline?s for Stat?ic Control? Managemen?t》,Eurosta?t,1990 四、?静电的特点 高电位?:可达数万至数十万伏?,操作时常达数百和数?千伏(人通常对3.5?KV以下静电不易感觉?到) 低电量:静电?流多为微安级(尖端放?电例外) 作用时间?短:微秒级 受环境?影响大:特别是湿度,?湿度上升则静电积累减?少,静电压下降,如下?表: 产生方式 ?10-25% RH ? 65-90% RH? 在地毯上行走 ?35000V 150?0V 在乙烯瓦上行?走 12000V 2?50V 坐在椅子上?的工人 6000V? 100V 从椅子?上拿起涤纶包 200?00V 1200V 带有聚氨酯泡沫的椅子 18000V 1500V 五、静电的度量 1、静电荷单位:库仑(C)。通常我们讲到静电势,则以“伏特(V)”为单位。 2、面电荷密度: σ = Q/S ( σ 单位:C/m 2 ) 式中:Q — 电量,S — 表面积 3、库仑定律: Q = C V 式中:Q — 电量,C — 电容 ,V — 电压 六、从静电学来区分材料的导电情况 静电导体:≤10 5 W cm(体电阻) 例:金属 静电亚导体:10 6 ~ 10 10 W cm 防静电器材 静电绝缘体:≥ 10 11 W cm 普通塑料 注意:由于静电的特点(电位高,电量小),因此它与普通电工学中导体和绝缘体划分有所不同。 B、静电产生的物理过程 一、静起电原理 :电 ?? ?造成不平衡电子分布的原因是电子受到外力而脱离轨道,这个外

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