[工学]超净间Training_20120427.pdfVIP

微纳加工与测试平台安全培训 2012-4-27 微纳制造工艺平台 夏金松 图文编辑：黄鹰 为了防止发生安全事故，微纳平台的用户 需要参加安全培训，才能取得进入微纳平 台超净间的资格。取得资格后经过经过相 应设备的培训后，取得操作证书才能操作 相关设备。 内容 • 超净间内基本行为准则 • 安全准则与应急处理 • 工艺规范与注意事项 超净间一般行为准则1 1. 进入超净间前不要化妆。 2. 超净间内禁止吃东西和和喝水。 3. 进入超净间 前30分钟开始不要抽烟。 4. 尽量避免带隐形眼睛。隐形眼镜可能吸收化学蒸 汽或者在眼球与镜片间吸附化学物质。紧急情况 下，隐形眼睛影响冲洗眼睛。 5. 必须穿着超净服和超净靴或者脚套。如果是上下 分体式的，上衣必须收扎在裤子中，裤脚要收扎 在靴子或者脚套中。 超净间一般行为准则2 6. 只能使用圆珠笔，不能使用铅笔。 7. 非必需品（包括书本、工具、包等）不能拿入超净间 8. 不能对着基片，水或者干净的器皿、表面咳嗽、说话或 者打喷嚏。 9. 不要让你的皮肤直接接触超净间内任何物体。不要让你 的脸接触到你的手套。不要用手接触手套的外表面。 10. 除了在紧急状态下，不要进入技术夹道或者灰区。 11. 离开时请收拾好你的工作空间，除非得到工程师同意， 不要在超净间内留下物品。 超净间一般行为准则3 12. 在清洗间使用化学物品前，你必须了解你要使用的化学 试剂。禁止在不了解的情况下，使用化学试剂。 13. 必须取得设备的操作许可证，才能操作相应的设备。 14. 禁止在超净间内从事与实验无关的事情。禁止大声喧哗 和跑动。 15. 任何时候避免一个人在超净间内使用设备。特别是晚间 禁止一个人在超净间内使用设备。 几种严重的不当行为 • 不经过风淋直接从旁边的出口专用门直接进入 超净间。 • 在超净间内做打磨等产生大量灰尘的工作。 • 大声喧哗、急速跑动、大力关门。 • 不关闭百级间、千级间与万级间（或技术夹道） 之间的门。 • 将各种不要物品、垃圾丢弃在地面或存放在超 净间内、长时间不清理出超净间。 着装要求 超净环境的维持成本高昂。 • 进入超净间必须穿着超净服。 – 上衣扎入裤子中，用脚套或洁净靴包住裤腿。 – 帽子带端正，领口里外两层搭扣扣好。 – 超净服如变脏，需及时更换干净超净服。 – 请带口罩、手套进入超净间。 • 进入超净室应注意个人卫生。 – 穿着平台提供的洁净鞋或者鞋套进入更衣间。 – 不能穿鞋或打赤脚在更衣间或走廊间走动。 – 进入平台大门时鞋底不要带入泥土。 – 自己的鞋子放入鞋柜并摆放整齐。 进出超净间着装方法 • 超净工艺间入室顺序： • →脱一次鞋 • →穿上净化服 • →穿上净化鞋 • →戴上净化帽→洗手 • →戴上口罩→手套 • →进风淋室→入室 风淋室 进口 出口出口 • 超净工艺间退室顺序： • →出口→脱下手套 • →脱下口罩 • →脱下净化鞋 • →摘下净化帽 • →脱下净化服 • →净化鞋归位 • →整理净化服挂于 出口 衣架上或放回更衣柜 • →出更衣室 场地安全规定 • 1) 要带入超净间的仪器、工具、硅片和掩模盒，请在更 衣室进行清洁。 • 2) 容易产