Methods in Preparation of VO2 films-材料合成化学课件PPT.pptVIP

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2018-03-13 发布于浙江
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Methods in Preparation of VO2 films-材料合成化学课件PPT.ppt

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Methods in Preparation of VO2 films-材料合成化学课件PPT

1.Introduction properties 2.General methods of VO2 film Sol-Gel Chemical Vapor Deposition Magnetron sputtering Vacuum vapor plating …… 2.1 Inorganic Sol-gel Method 1、precursor :temperature 800℃~900 ℃ keep the temperature 10~25min V2O5:H2O≈1:100 2、sol: precursor:H2O=1:3 2.2 CVD CVD systems CVD equipment Steps involved in a CVD process Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition of Thin films of VO2 source material mainly are V(C5H7O)4 ，VOCl3 and VCl4 。 ?At 525 ℃, the SiO2 glass substrate, to (VCl4 ：H2O) is1: (0 ~ 9) of raw materials,Has been film of VO2 . 2.3 magnetron sputtering 3. shematic diagram 4.Process chart 1、Fix monitoring instrument for the measuring of film; 2、Ion beam subsidary evaporation 3、imply non-oil system,such as low temperature pump and molecular. 3.1Comparison References: 1.A Subrahmanyam, Y Bharat Kumar Reddy and C L Nagendra。Nano-vanadium oxide thin films in mixed phase for microbolometer applications。J. Phys. D: Appl. Phys.41（2008）。 2. F．Guinneton,L．Sauques，J．C．Valmalette．Optimized infrared switching properties inthermochmmic vanadium dioxide thin films：role of deposition process and microstructure．Thin Solid Films，2004，446(2)：287-295 3.P．Jin,M．Tazawa,M．Ikeyama,et al Growth and characterization of epitaxial films of tungsten-doped vanadium oxides 011 sapphire(110)by reactive magnetron sputtering． 4.Journal ofVacuum ScienceTechnologyA，1999，17(4)：1817-1821R．Lopez,T．E．Haynes。L．A．Boatner,et a1．Size effects in the structural phase transition ofV02 nanoparticles．Physical Review B，2002，65，2241 13 5.L．B．LiIl’T．C.Q，et a1．Phase-transition properties of V02 thin films changed byhigh flux electron beam radiation．Surface and Coatings Technology，2002，1 58—1 59：530．533 6.李志栓，李静，吴孙桃，等．射频磁控溅射方法制备氧化钒薄膜的研究．厦门大学学报(自然科学版)，2005，44(1)-37-40 7.田雪松，刘金成，掌蕴东，等．二氧化钒薄膜的退火组分变化及光学特性研究．激光技术，2005，29(3)：332-334 8.陈素君，陈月曾。真空蒸发镀膜设备性能的改进 45（6）,2008. * Methods in Preparation of vanadium oxide f