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微电子行业-MettlerToledo
2
THORNTON
Siemens Thornton
CEDI
CEDI
Siemens Water Technologies Thornton
CEDI 下降,则会将已经正确再生和冲
Siemens Water Technologies 使用其 洗好的备用 DI 床投入使用。这会
VNX E 与 EX 模块推出了一款用于 导致水质发生波动,如同使用
微电子的创新型连续电除盐 MBDI 系统看到的那样。但是,对
(CEDI) 平台。模块采用新技术设 于基于 CEDI 的系统而言通过采用
计而成,可连续生产超纯水,从 电流保证离子交换连续稳定,
而满足微电子抛光与补给水的高 从而确保对水质性能进行高度
难度挑战。模块化高流通性组件 管制。
可像积木一般相互连接,从而形
成高效率纯净水系统,同时可减
少水系统在加工厂中的整体占地 可靠性能是高性能微电子补给水
面积。 中 CEDI 模块的必要条件。自 2000
年起,Siemens 一直采用梅特勒-托
利多 Thornton 770MAX 多参数、多
采用 CEDI 技术在产水水质稳定方 通道变送器保持超纯水的电阻率
面和基于可再生树脂的去离子脱 与温度,从而进行 CEDI QC 监测。
盐技术相比具有明显优点。为防
止水质下降,必须对批次性可再 从低流通性 MX 到高流通性 VNX ,
生系统进行监控。万一出现水质 公司目前的厚电极模块平台全部
采用梅特勒- 托利多 CED I 产品经理 P atrick Buzzell 对
T h o r n t o n 监测系统检 Siemens VNX E 与 EX 模块的评价
测。公司于 2004 年额外 是: “简单至极,让人轻松之
添置了八台使用 Thornton 至”。Buzzell 接着说: “在根据
200CR 变送器的 QC 测试 进水正确设置电流之后,E 与 EX
站,目前新 Thornton M300 将会不断生产出高纯度水。同
变送器产品用于监测温度 样,从 770MAX 到 M300,Thornton 的
与电阻率。S i e m e n s W a t e r 所有产品均为我们提供了稳定
Technologies – Ionpure Products 质 的长期性能。简化我们用于 OEM
量保证经理 Rahoul Bhagat 介绍 组件的集成难度是 S i e m e n s –
说: “我们从来没有考虑过更 Ionpure Products 考虑的一项重要因
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