CN107389090-CN201710436147-一种提高MEMS陀螺抗振动特性的机械不正交闭环方法.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 107389090 A (43)申请公布日 2017.11.24 (21)申请号 201710436147.9 (22)申请日 2017.06.12 (71)申请人 中国航空工业集团公司西安飞行自 动控制研究所 地址 710065 陕西省西安市雁塔区电子一 路92号 (72)发明人 孟冰　吕航伟　王永　王刚　 张天磊　李文宏　 (74)专利代理机构 中国航空专利中心 11008 代理人 杜永保 (51)Int.Cl. G01C 25/00(2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图2页 (54)发明名称 一种提高MEMS陀螺抗振动特性的机械不正 交闭环方法 (57)摘要 本发明一种提高MEMS陀螺抗振动特性的机 械不正交闭环方法，属于传感器控制技术领域。 本发明的目的是针对MEMS双质量块陀螺的左、右 质量块由于工艺的不一致性形成的机械不正交 误差，这种误差大大降低MEMS双质量块陀螺的抗 振动特性和全温重复性指标。通过相位解调技术 对机械不正交误差信号进行解析，并将误差累加 后进入直接_II型控制器，反馈误差值以+2.5V± V电平为直流力矩，以差分信号的形式加到MEMS 双质量陀螺的检测方向平行板电容上，矫正MEMS 双质量块陀螺在检测方向的误差，提升MEMS双质 A 量块陀螺坑振动特性的同时也有着良好的漂移、 0 重复性特性，最后大大提升MEMS双质量块陀螺的 9 0 9 抗振动指标及全温重复性、零偏稳定性指标。 8 3 7 0 1 N C CN 107389090 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种补偿MEMS双质量块陀螺机械不正交误差的微机械结构，其特征在于，所述结构 包括:MEMS双质量块陀螺的双质量块、MEMS双质量块陀螺的驱动检测框、MEMS双质量块陀螺 的检测检测框、耦合梁、机械不正交补偿电极、MEMS双质量块陀螺的驱动的检测梳齿、MEMS 双质量块陀螺检测方向的检测梳齿；MEMS双质量块陀螺基于科里奥力原理进行角速率的检 测。MEMS双质量块陀螺利用驱动梳齿对双质量块驱动框和双质量块进行驱动，驱动框在驱 动方向和质量块是刚性连接，驱动框带动质量块在驱动方向上为谐振工作状态、通过稳定 驱动幅度、达到稳定的科里奥力效应来检测惯性空间的角速率，耦合梁保证驱动方向的刚 度大。MEMS双质量块陀螺的检测框是通过耦合梁刚性连接双质量块，质量块与检测框的刚 度小，检测科里奥力效应产生检测方向的位移，位移由于陀螺驱动方向的误差信号耦合进 检测方向形成MEMS双质量块陀螺机械不正交误差，MEMS双质量块陀螺采用在检测质量块的 检测方向加入平行极板电容的方式，在平行极板上加入直流电平项来抵消机械不正交误差 信号，即采用机械不正交误差矫正电极的方式，通过施加静电力的作用在MEMS双质量块陀 螺检测方向，使MEMS双质量块陀螺机械不正交误差矫正后为零。 2.一种机械不正交误差信号的解调方法，基于权利要求1所述的一种补偿MEMS双质量 块陀螺机械不正交误差的微机械结构而实现，其特征在于，所述方法利用检测框产生的位 移形成的电容变化，再通过相位解调的方式确定机械误差信号，其中的解调相位是通过驱 动环路的锁相环输出信号移相得到，得到的机械误差信号通过累加后放大成机械不正交误 差信号，形成较高的闭环前向通道增益。 3.根据权利要求2所述的一种机械不正交误差信号的解调方法，其特征在于，所述方法 还采取以下步骤：对机械不正交误差信号完成解调累加后，采用直接—II型控制器架构形