CN107218195-CN201710134343-低温泵、低温泵吸留气体量推测装置及其推测方法.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 107218195 A (43)申请公布日 2017.09.29 (21)申请号 201710134343.0 (22)申请日 2017.03.08 (30)优先权数据 2016-057049 2016.03.22 JP (71)申请人 住友重机械工业株式会社 地址 日本东京都 (72)发明人 高桥走　 (74)专利代理机构 广州三环专利商标代理有限 公司 44202 代理人 温旭　郝传鑫 (51)Int.Cl. F04B 37/08(2006.01) 权利要求书1页 说明书8页 附图6页 (54)发明名称 低温泵、低温泵吸留气体量推测装置及其推 测方法 (57)摘要 本发明提供一种有助于恰当地设定低温泵 再生间隔的指标。低温泵吸留气体量推测装置具 备：极限压力确定部(110)，根据表示低温泵真空 容器内的真空度的真空测量信号(V)，确定低温 泵真空容器的极限压力(P)；及吸留气体量定量 化部(112)，具备使极限压力(P)与吸留气体量推 测值(G)建立关联的吸留气体量定量化函数 (116)，并且将极限压力(P)转换成吸留气体量推 测值(G)。 A 5 9 1 8 1 2 7 0 1 N C CN 107218195 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种低温泵，其特征在于，具备： 低温泵真空容器； 真空计，设置于所述低温泵真空容器，以便测量所述低温泵真空容器内的真空度，并输 出真空测量信号；以及 吸留气体量推测部，其与所述真空计连接，以便从所述真空计接收所述真空测量信号， 并且所述吸留气体量推测部具备极限压力确定部和吸留气体量定量化部， 所述极限压力确定部根据所述真空测量信号确定所述低温泵真空容器的极限压力， 所述吸留气体量定量化部具备使所述极限压力与吸留气体量推测值建立关联的吸留 气体量定量化函数，并且将所述极限压力转换成所述吸留气体量推测值。 2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于， 还具备输出所述吸留气体量推测值的输出部。 3.根据权利要求2所述的低温泵，其特征在于， 所述输出部输出所述吸留气体量推测值相对于低温泵的吸留气体容量的比率。 4.根据权利要求1至3中任一项所述的低温泵，其特征在于， 所述低温泵真空容器具有可以用闸阀关闭的低温泵进气口， 所述吸留气体量推测部具备：输入部，接收吸留气体量推断开始指令；以及闸阀指令生 成部，接收所述吸留气体量推断开始指令后向所述闸阀输出关闭指令， 所述极限压力确定部在所述闸阀关闭后待机规定时间，并在待机所述规定时间之后， 根据所述真空测量信号确定所述低温泵真空容器的极限压力。 5.根据权利要求1至4中任一项所述的低温泵，其特征在于， -5 所述真空计为能够测量10 Pa的高真空度的电离真空计。 6.一种低温泵吸留气体量推测装置，其特征在于，具备： 极限压力确定部，根据表示低温泵真空容器内的真空度的真空测量信号，确定所述低 温泵真空容器的极限压力；以及 吸留气体量定量化部，具备使所述极限压力与吸留气体量推测值建立关联的吸留气体 量定量化函数，并将所述极限压力转换成所述吸留气体量推测值。 7.一种低温泵吸留气体量推测方法，其特征在于，具备如下步骤： 测量低温泵真空容器内的真空度并生成真空测量信号； 根据所述真空测量信号确定所述低温泵真空容器的