电子与固体的相互作用.ppt

（2）二次电子 二次电子是指被入射电子轰击出来的核外电子。 价电子的结合能很小，比较容易和原子脱离。在样品表面上方检测到的二次电子绝大部分来自价电子。 比较接近样品表层，能量大于逸出功的电子可从样品表面逸出，成为二次电子。 一个能量很高的入射电子，可以产生许多二次电子。 二次电子来自表面5-50nm区域，能量为低于50 eV。 二次电子产额随原于序数的变化不明显，而对试样表面形貌非常敏感，可有效显示微观形貌衬度。 二次电子的分辨率较高，一般可达到5-10nm。SEM的分辨率通常就是二次电子分辨率。 三、吸收电子 入射电子经多次非弹性散射，能量殆尽（假定样品足够厚，无透射电子），最后被样品吸收成为吸收电子。若在样品和地之间接一个高灵敏度的电流表，就可以测得样品的吸收电流。 入射电子束i0 背散射电子ib 二次电子is 吸收电子ia i0=ib+is+ia 由于二次电子产额受原子序数影响很小，则 吸收电子信号衬度与背散射电子像互补。 吸收电流像可以反映原子序数衬度，也可以用来进行定性的微区成分分析。 四、透射电子 如果样品厚度小于入射电子有效穿透深度，入射电子会穿过薄样品而成为透射电子。 TEM就是应用透射电子成像的。 五、特征X射线 特征X射线：原子的内层电子受激，在能级跃迁过程中直接释放的具有特征能量和波长的一种电磁波。 入射电子使核外电子脱离原子，使原子处于激发态外层电子会迅速填补内层电子空位，使原子降低能量趋于较稳定状态。 六、俄歇电子 俄歇电子能量也各有特征值，一般在50-1500 eV范围之内。 由试样表面下1nm左右（几个原于层）发出。 适用于表层化学成分分析。 铍是产生俄歇效应的最轻元素。 * 透射、吸收、（背）散射 电子与物质的交互作用 试样上方接收的电子谱图 （1）背散射电子 BE指入射电子在试样内经过一次或几次大角度弹性散射或非弹性散射后离开试样表面的电子。 背散射电子的产生范围在100nm-1μm。这是由于背散射电子有较高的能量，可在试样较深部位散射出试样表面。 背散射电子产额BE的产额随试样原子序数的增加而增加。 ● 背散射电子在试样内部接近完全扩散，其广度较入射电子束直径大若干倍，可从试样较深部位逸出。 莫塞莱定律： ● 特征X射线来自试样500nm-5000nm区域。 ● 利用特征X射线可进行成分分析。 ● 如K激发态，?E＝（EK-EL）以X-射线形式释放。 如果原子内层电子能级跃迁过程中释放出来的能量?E不以X射线的形式释放，而是用该能量将核外另一电子打出，脱离原子变为二次电子，这种二次电子叫做俄歇电子。 *