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第8章压电式传感器及应用 引言 压电式传感器的工作原理是基于某些介质材料的压电效应，是典型的有源传感器。当材料受力作用而变形时，其表面会有电荷产生，从而实现非电量测量。 压电式传感器具有体积小，重量轻，工作频带宽等特点，因此在各种动态力、机械冲击与振动的测量，以及声学、医学、力学、宇航等方面都得到了非常广泛的应用。 主要章节 8.1压电效应及压电材料 8.2压电式传感器测量电路 8.3压电式传感器的应用 8.1压电效应及压电材料 1．压电效应的概念 某些电介质，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，其内部就产生极化现象，同时在它的两个表面上便产生符号相反的电荷，当外力去掉后，其又重新恢复到不带电状态，这种现象称压电效应。 相反，当在电介质极化方向施加电场，这些电介质也会产生变形，这种现象称为“逆压电效应”（电致伸缩效应）。 压电效应可逆性 2.压电效应原理(以石英晶体为例) 现象： 机理： 分析说明 （1）在无外力作用时 （2）当晶体沿电轴（x轴）方向受到压力时，晶格产生变形 （3）同样，当晶体的机械轴（y轴）方向受到压力时，也会产生晶格变形 （4）当晶体的光轴（z轴）方向受到受力时，由于晶格的变形不会引起正负电荷中心的分离，所以不会产生压电效应。 产生电荷的大小 X轴向受力： Y轴向受力： Z轴向受力： qz=0 8.1.2 常用压电材料 石英晶体、钛酸钡、锆钛酸铅等材料是性能优良的压电材料。 应用于压电式传感器中的压电元件材料一般有3类：压电晶体、经过极化处理的压电陶瓷、高分子压电材料。 石英晶体 天然形成的石英晶体外形 石英晶体切片及封装 石英晶体薄片 石英晶体振荡器（晶振） 石英晶体在振荡电路中工作时，压电效应与逆压电效应交替作用，从而产生稳定的振荡输出频率。 压电陶瓷（多晶体） 压电陶瓷外形 高分子压电薄膜及拉制 高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆 可用于波形分析及报警的高分子压电踏脚板 压电式脚踏报警器 压电材料的选取 选用合适的压电材料是设计、制作高性能传感器的关键。一般应考虑： 转换性能 机械性能 电性能 温度、湿度稳定性好 时间稳定性 8.2压电式传感器测量电路 将压电晶片产生电荷的两个晶面封装上金属电极后，就构成了压电元件。 当压电元件受力时，就会在两个电极上产生电荷，因此，压电元件相当于一个电荷源 两个电极之间是绝缘的压电介质，因此它又相当于一个以压电材料为介质的电容器。 压电元件的等效电路 压电元件等效为一个与电容相并联的电荷源，也可以等效为一个与电容相串联的电压源， 压电元件实际的等效电路图 压电式传感器不能用于静态测量。压电元件只有在交变力的作用下，电荷才能源源不断地产生，可以供给测量回路以一定的电流，故只适用于动态测量。 8.2.2 压电式传感器测量电路 压电式传感器的内阻很高，要求与高输入阻抗的前置放大电路配合，与一般的放大、检波、显示、记录电路连接，防止电荷的迅速泄漏而使测量误差减少。 压电式传感器的前置放大器的作用有两个：一是把传感器的高阻抗输出变为低阻抗输出；二是把传感器的微弱信号进行放大。 1.电荷放大器 并联输出型压电元件可以等效为电荷源。电荷放大器实际上是一个具有反馈电容Cf的高增益运算放大器电路 2.电压放大器（阻抗变换器） 串联输出型压电元件可以等效为电压源，但由于压电效应引起的电容量很小，因而其电压源等效内阻很大，在接成电压输出型测量电路时，要求前置放大器不仅有足够的放大倍数，而且应具有很高的输入阻抗 8.3压电式传感器的应用 压电片的并联连接电路图 8.3.2 压电传感器的应用 压电式传感器主要用于动态作用力、压力、加速度的测量。 1.压电式力传感器 压电式力传感器是以压电元件为转换元件，输出电荷与作用力成正比的力—电转换装置。常用的形式为荷重垫圈式，它由基座、盖板、石英晶片、电极以及引出插座等组成 YDS-78型压电式单向动态力传感器 变化频率不太高的动态力的测量。测力范围达几十kN以上，非线性误差小于1%，固有频率可达数十千赫。 2.压电式加速度传感器 由压电元件、质量块、预压弹簧、基座及外壳等组成。整个部件装在外壳内，并用螺栓加以固定 压电式加速度传感器 高分子压电材料的应用 4.交通监测 将高分子压电电缆埋在公路上，可以获取车型分类信息（包括轴数、轴距、轮距、单双轮胎）、车速监测、收费站地磅、闯红灯拍照、停车区域监控、交通数据信息采集（道路监控）及机场滑行道等。 5.压电式动态力传感器在体育动态测量中的应用 惯性力是加速度的函数，惯性力F 作用于