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原子力显微镜 Atomic Force Microscopy 马成福 2016-01-20 中国科学技术大学 ·微纳研究与制造中心 培训目标 一、熟悉AFM基本工作原理； 二、清楚设备基本工作流程； 三、掌握设备基础成像模式。 课程一：设备介绍 工作原理、基本构成、控制软件、成 像演示、图像处理等 培训安排 课程二：上机练习 可自带样品进行不同成像模式联系 课程三：设备考核 知识问答、顺利完成三种基础成像模 式流程 基本原理 量子力学——隧道效应 将原子线度的极细探针和样品表 面作为两个电极，当样品与针尖 的距离非常接近时 （通常小于 1nm），在外加电场的作用下， 电子会穿过两个电极之间的势垒 流向另一电极，产生隧道电流。 隧道电流随样品与探针间距的减 小而呈指数增加。 检测隧道电流大小，即可知道当前间距，进一步推 算出样品表面在该点的高度。将样品相对于针尖在 横向扫描，隧道电流必定随着样品表面起伏而变化， 检测每一扫描点处的隧道电流大小，可计算出样品 表面每一点的高度值。 （恒高） 通过电子反馈系统控制隧道电流的恒定，则探针在 垂直于样品方向上高低的变化就反映出了样品表面 形貌。 （恒流） 基本原理 扫描隧道显微镜 Scanning Tunneling Microscopy, STM 1981年，来自IBM苏黎世实验室的G. Binnig和H. Rohrer发明STM ，与电子显微镜之父E. Ruska一起 分享1986年诺贝尔物理学奖。 STM分辨率可达横向0.1nm 、高度方向0.01nm ，对 材料实现原子尺度成像、操纵。适合真空、大气、 液相多种工作环境。 STM测试样品导电性要求：导体或半导体 原子间作用力与针尖/样品间间距 基本原理 原子力显微镜 Atomic Force Microscopy, AFM 1986年，G. Binnig与C. Quate 、C. Gerber一起发明