自动台阶仪的功能使用说明书.pdf

自动台的功能 目录 自动缝补功能01 自动台样品定位02 自动扫描功能02 自动缝补功能 自动缝补功能概况： 对于Dektak XT 系列台阶仪，自动缝补功能是XT 自动台的软件基本配置。其功能是当扫描长途超 过55mm 时，仪器将弹出自动缝补功能选项，通过仪器连续自动的多次扫描获得多幅连续的扫描图片，系 统将通过内部处理将多幅扫描图自动拼接成一副扫描图，通过这个功能，自动台的扫描最大长度将达到 200mm。 自动台自动缝补功能运行流程： 1. 当在measurement setup 窗口中设置扫描长度超过55mm 时，会自动弹出自动缝补功能的设置 框。 2. 设置重叠度和缝补类型。 3. 点击单次扫描，仪器就会自动连续的扫过样品，并生成扫描图。 自动台样品定位 自动台样品定位功能概况： 对于Dektak XT 系列台阶仪，XT 自动台的样品定位是通过软件上的设置完成的，通过操作软件上 的样品定位窗口可实现样品的x 与y 轴的移动，样品台角度旋转功能。 自动台样品定位操作介绍： 1. 通过 X-Y 样品台控制面板可实现对样品台X 与Y 轴的移动控制。拖拽十字中心红色实心点变为 箭头，可实现X-Y 轴的移动，移动速度可点选 快速 中速 慢速。其中控制面板左下位置处可 精准设置X-Y 轴移动距离 图：2-1 2. 点击右上角的蓝色齿轮可进入X-Y 轴的移动控制选项，其中可选择系统高速 中速 慢速的移动 速度，Grab Circle To Move？选项勾选后，才能通过中心红色实心点控制X-Y 轴移动。 图2-2 3. 样品台角度控制面板 自动扫描功能 自动台自动扫描功能概况： 对于Dektak XT 系列台阶仪，自动扫描功能是XT 自动台软件基本配置，其功能主要是通过设置纠 偏点，定位点，及若干扫描点，来实现对同一批次的不同样品，其相同位置进行自动形貌扫描。 自动台自动扫描功能运行流程： 1. 将样品放置在样品台上，并选择合适区域，以便在视频上找到纠偏参考点。【举例说明：例如 你在测试一个硅片时就可以选择硅片上的孔槽或者衬底角落作为纠偏参考点。】 2. 点击Automation setup 按钮 3. 点击 tower down 4. 设置纠偏参考点： a. 移动样品台找到我们要选择作为纠偏参考点的位置 b. 在Automation Editor 窗口内，点击Set Reference Point 按钮 ，此时就在此处会留下 一个红色圆圈R 标，图上留下的这个点就是我们纠偏参考点。（如图3-1） 图：3-1 5. 设置纠偏对齐点 a. 移动样品台找到我们要选择作为纠偏对齐点的位置。 b. 点击Tower down c. 在Automation Editor 窗口内，点击Add Alignment Site 按钮，就在此处会留下一个实 心红点。这个点就是我们纠偏的对齐点。（如图3-2） 图：3-2 6. 选择样品测试点 a. 移动样品台选择我们要作为第一个测试点的位置 b. 点击Tower down c. 在Automation Editor 窗口内，点击Measurement Site 按钮，这个位置就会留下一个带 有数字的绿色圆圈。（如图3-3） d. 重复之前的操作选择所有你所需要的样品测试点。