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精密平移台-PhysikInstrumente
精密平移台
实惠、灵活:多种驱动器、多种行程
M-404
价格实惠的成本优化设计用于精密定位
行程从25 毫米至200 毫米
分辨率达0.012微米
最小位移达0.1微米
滚珠丝杠可实现高速和高循环次数
M-413和M-
414版本可满足更高的负载要求
应用领域
测量技术,对准。
规格
M-404.1PD M-404.1DG
M-404.2PD M-404.2DG
M-404.4PD M-404.4DG 单位 公差
M-404.6PD M-404.6DG
M-404.8PD M-404.8DG
带ActiveDrive 的 带直流齿轮电机
主动轴 X X
运动和定位
行程 25 / 50 / 100 / 150 / 200 25 / 50 / 100 / 150 / 200 毫米
集成传感器 旋转编码器 旋转编码器
传感器分辨率 4000 2000 步/圈
设计分辨率 0.25 0.012 微米 典型值
最小位移 0.25 0.1 微米 典型值
空回 0.5 2 微米 典型值
单向重复精度 0.5 1 微米 典型值
典型值超过1
螺距 75 75 微弧度
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