精密平移台-PhysikInstrumente.PDFVIP

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精密平移台-PhysikInstrumente

精密平移台 实惠、灵活:多种驱动器、多种行程 M-404  价格实惠的成本优化设计用于精密定位  行程从25 毫米至200 毫米  分辨率达0.012微米  最小位移达0.1微米  滚珠丝杠可实现高速和高循环次数  M-413和M- 414版本可满足更高的负载要求 应用领域 测量技术,对准。 规格 M-404.1PD M-404.1DG M-404.2PD M-404.2DG M-404.4PD M-404.4DG 单位 公差 M-404.6PD M-404.6DG M-404.8PD M-404.8DG 带ActiveDrive 的 带直流齿轮电机 主动轴 X X 运动和定位 行程 25 / 50 / 100 / 150 / 200 25 / 50 / 100 / 150 / 200 毫米 集成传感器 旋转编码器 旋转编码器 传感器分辨率 4000 2000 步/圈 设计分辨率 0.25 0.012 微米 典型值 最小位移 0.25 0.1 微米 典型值 空回 0.5 2 微米 典型值 单向重复精度 0.5 1 微米 典型值 典型值超过1 螺距 75 75 微弧度

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