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第卷第期光学精密工程年月文章编号多共振峰圆形光栅滤波器王永进秦川高绪敏张锋华南京邮电大学研究中心江苏南京摘要提出了一种导模共振圆形光栅滤波器以实现它在可见光范围内的多波段滤波理论分析了圆形光栅滤波器在同一入射波偏振条件下形成多个共振峰的原因通过微纳加工技术在硅基二氧化铪材料上实现了光栅层约为的圆形光栅薄膜结构利用一维线性光栅对圆形光栅的反射谱进行了模拟通过角分辨微纳反射谱测试系统获得了该光栅滤波器在不同入射波偏振条件以及不同入射角时的反射谱实验表明在特定的光栅周期以及占空比条件下如光栅周期占空比
第 卷 第 期 光学精密工程
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