彩色滤光片之先进制程与缺陷改善学生-国立交通大学机构典藏.pdfVIP

彩色濾光片之先進製程與缺陷改善 學生：蔡憲慶 指導教授 張翼： 博士 國立交通大學工學院專班半導體材料與製程設備組碩士班 摘 要 彩色濾光片為 CMOS Image Sensor的關鍵組件。而高品質的彩色濾光 片決定性的影響 CMOS Image Sensor 之畫素及色彩的表現，而彩色濾光片 的製程技術涵蓋了精密大面積的蝕刻技 術，高速旋轉塗佈技術及精細的微 影技術。隨著電子元件尺寸逐步的微小 化，蝕刻特性必須被精確的控制， 其中包含︰蝕刻率和均勻性等等。本論文將針對在彩色濾光片主流製程技 術做詳盡敘述外，主要目標為彩色濾光 片之製程改善，包含如何提升彩色 濾光片的製程生產良率，簡化流程並降低彩色濾光片製作成本。 第一種方法為改良彩色濾光片的製程，讓 Bond pad 在製程中的最後一 道步驟中再打開，來達成保護 Bond pad 不受彩色濾光片光阻和顯影液的傷 害。同時因為增加了表面的平坦度，也一併改善了 image defect 。第二種方 法為利用蝕刻的方式來取代傳統的彩色濾光片顯影步驟，因此減少了光罩 的數量並降低彩色濾光片製作成本。 i Advanced Process developed and Defect density Improvement of Color Filter Student ：Hsien-Ching Tsai Advisor ：Edward Dr. Yi Chang Program of Semiconductor Materials and Process Equipment Nation Chiao Tung University ABSTRACT Color filter is a key component of CMOS image sensor. The quality of color filter decides the performance of the pixel and the color of CMOS image sensor. The manufacturing technologies of the color filter include the precise larger area etching technology, the high speed coating technology and the precise Photolithography technology. To minimize electronic components, the etching process should be controlled precisely, including the etching rate and uniformity. This thesis focuses on the process improvement of the color filter, for example, improving the yield rate of the color filter, simplifying the process and reducing the manufacturing cost of the color filter. These topics will be the major challenge for process improvement of the color filter manufacturers in Taiwan. The first method i