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静电 （Electrostatic Discharge ESD） 大纲 物质的原子模型 静电基本概念 静电危害 静电是怎么产生的 静电防护 物质的原子模型 原子由带正电、质量重、不易移动的原子核，与核外带负电、质量轻、绕原子核运动的电子所组成。 原子核的总正电量与核外电子的总负电量大小相等。 物体带电是因为最外层电子的转移（电荷分离） 静电基本概念 静电：物体表面静止的电荷。 电荷(静电荷)：当对物体施加一定能量时，使本来正负电荷量相等而处于中性状态的物体变成其中任何一方过剩的状态，这过剩的电量就称为电荷(静电荷) 静电的实质是存在剩余电荷。 电荷是所有的有关静电现象本质方面的物理量。 导体与绝缘体 导体：若原子核最外围的电子，所受的束缚力很微弱，则电子容易脱离原子核的束缚而自由地运动，称为自由电子，这一类的物体容易导电，称为导体，例如铜、铝、......等。 绝缘体：原子核和核外的电子彼此间的吸引力强，则电子不易脱离原子核的束缚，因此不易导电，称为绝缘体，例如玻璃、毛皮......等。 半导体：电荷移动能力介于导体与绝缘体之间，如锗、硅。在低温时为绝缘体，高温时为导体，且导电性随温度升高或加杂质而升高。 材料的电阻值与抗静电性 导电材料阻值105欧 106欧抗静电材料阻值 1011 欧 绝缘体材料阻值 1011欧 制程为什么要进行静电控制 避免Particle 吸附 减低元件被破坏 减少产品失效或者运作不稳定 减少静电放电造成损失 静电对IC造成伤害 人体平常所感应的静电电压在2KV以上，通常是由于人体的轻微动作或与绝缘物的磨擦而引起的。也就是说，倘若我们日常生活中所带的静电电位与IC接触，那么几乎所有的IC都将被破坏，这种危险存在于任何没有采取静电防护措施的工作环境中。静电对IC的破坏不仅体现在电子元器件的制造工序当中，而且在IC的组装、远输等过程中都会对IC产生破坏。 静电对IC造成伤害 隐蔽性 ：除非发生静电放电，人体不能直接感知静电，但发生静电放电人体也不一定能有电击的感觉，这是因为人体感知的静电放电电压为2~3kv，所以静电具有隐蔽性。 潜在性 ：有些会受到静电损伤后的性能没有明显的下降，但多次累加放电会给IC器件造成内伤而形成隐患。因此静电对IC的损伤具有潜在性。 静电对IC造成伤害 随机性 ：IC什么情况下会遭受静电破坏呢?可以这么说，从一个IC芯片产生以后一直到它损坏以前，所有的过程都受到静电的威胁，而这些静电的产生也具有随机性，其损坏也具有随机性。 复杂性 ：静电放电损伤的失效分析工作，因微电子IC产品的精、细、微小的结构特点而费时、费事、费财，要求较高的技术并往往需要使用高度精密仪器，即使如此，有些静电损伤现象也难以与其它原因造成的损伤加以区别；使人误把静电放电损伤的失效当作其它失效，这在对静电放电损害未充分认识之前，常常归因于早期失效或情况不明的失效，从而不自觉地掩盖了失效的真正原因。所以分析静电对IC的损伤具有复杂性。 静电是怎样产生的 当两个不同的物体相互接触时就会使得一个物体失去一些电荷如电子转移到另一个物体使其带正电，而另一个体得到一些剩余电子的物体而带负电。若在分离的过程中电荷难以中和，电荷就会积累使物体带上静电，任何两个不同材质的物体接触后再分离，即可产生静电。 --(电荷分离产生静电) 。 電荷分離產生靜電 工業生產中，靜電常伴隨各種作業過程中（如管路輸送、容器中傾出或流入容器中、攪動、混合、噴出、乾燥、粉碎、篩選、滾輪傳送、剝離、人員走動）。物質間相互摩擦、傳導或感應而產生，至於製程的設備或產品是正帶電或負帶電則需參考物質帶電序列表。 製程帶電的起因用最微觀的角度來看待，皆是能量的交換使電子移位。而兩物質之接觸、分離是最大的主因。在生產製程中即多稱其為「剝離帶電」、「磨擦帶電」。 摩擦带电 定義：當兩個不同的物體互相摩擦時，一些電子從一個物體轉移到另一個物體，使兩物體皆帶電，此種方式稱為摩擦带电 結果：較易失去電子的物體帶正電，另一物體獲得電子則帶負電。 剥离带电 两个紧密接触的物体，在外力作用下迅速分离一些電子從一個物體轉移到另一個物體，使兩物體皆帶電，此種方式稱為剥离带电 結果：物体較易失去電子的部分帶正電，另一部分獲得電子則帶負電。 电荷累积 一般人造聚合物具有高绝缘、高电阻的特性，能蓄积静电荷很长的一段时间，因其性能优异，已被大量且广泛的使于各种生产或制造之原料，设备与组件中。 导体设备（如：容器、管路、漏斗、手推车、甚至人体）对地绝缘，因而累积大量静电荷。 高绝缘的原料（如：液体、粉体、膜、纤维等）亦会累积大量的静电荷。 静电危害 静电放电而引起的火灾--化工制程 静电累积与放电造成生产品质的不良--电子工业