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六氧化硫的应用 ?六氟化硫SF6 ?????? 1.英文名称:Sulfur hexafluoride、Sulfur fluoride． ?????? 2.用途 ?????? 电子设备、雷达波导、粒子加速器、变压器、避雷器等的气绝缘体，制冷剂，示踪装置，医疗，半导体制造中的蚀刻、化学相淀积、标准气，检漏气体，色谱仪的载气。 ?????? 3.制法 ?????? 在高温下硫和氟反应制得。 S+3F2→SF6 ?????? 4.理化特性 ?????? 分子量： 146.054 ?????? 熔点(224kPa)： -50.8℃ ?????? 升化点(101.325kPa)： -63.7℃ ?????? 液体密度(-50.8℃)： 1880kg/m3 ?????? 气体密度(0℃，101.325kPa)： 6.52kg/m3 ?????? 相对密度(气体，空气=1，20℃，101.325kPa)：5.114 ?????? 比容(21.1℃，101.325kPa)：0.1516m3/kg ?????? 临界温度： 45.5℃ ?????? 临界压力： 3759kPa ?????? 临界密度： 736kg/m3 ?????? 熔化热(222.35K，224kPa)： 34.38kJ/kg ?????? 气化热(-63.8℃，101.325kPa)： 161.61kJ/kg ?????? 比热容