[信息与通信]第7章压电式传感器及其应用.pptVIP

7.3 压电式元件的结构形式 1．厚度变形 (TE方式)，如图7-9(a)所示。这种变形方式 就是石英晶体的纵向压电效应，产生的表面电荷密度或表 面电荷为 或 (7-13) 2．长度变形 (LE方式)，如图7-9(b)所示，这是利用石英 晶体的横向压电效应，表面电荷密度或电荷为 或 (7-14) 其中，Sx，Sy—分别为产生电荷面和受力面面积。 3．面剪切变形 (FS方式)，如图7-9(c)所示，计算公式 为 (对X切晶片) (7-15) 或 (对Y切晶片) (7-16) 7.3 压电式元件的结构形式 4．厚度剪切变形(TS方式)，如图7-9(d)所示，计算公式为 (对Y切晶片) (7-17) 7.弯曲变形(BS方式)，它不是基本变形方式，而是拉、 压、切应力共同作用的结果。应根据具体情况选择合适的压 电常数。 6 ．体积变形 (简称VE方式)，对于BaTiO3压电陶瓷，除长 度变形方式(用d31)、厚度变形方式(用d33)和面剪切变形方式 (用d15)以外，还有体积变形方式(简称VE)可以利用，如图7- 9(e)所示。这时产生的表面电荷密度按下式计算 (7-18) 由于此时?x=?y=?z=?，同时对BaTiO3压电陶瓷有d31=d32，则 (7-19) 式中，dV=2d31 + d33为体积压缩的压电常数。这种变形方 式可以用来进行液体或气体压力的测量。 7.3 压电式元件的结构形式 7.3．2 压电元件的结构形式 压电元件一般采用两片或两片以上压电片组合使用。 由于压电元件是有极性的，因此连接方法有两种： 并联连接和串联连接，如图7-10所示。 图7-10 叠式压电片的并联和串联 (a)并联接法；(b)串联接法 7.3 压电式元件的结构形式 ?并联（图7-10(a)）： ?串联（图7-10(b)）： 式中，C、U、Q—单片压电片的输出电容、输出电压和 极板上的总电荷量； 在这两种接法中，并联接法输出电荷量大、电容大、 时间常数大，适宜用在测量慢信号并且以电荷作为输出 量的情况；串联接法输出电压大、电容小，适宜用于以 电压作为输出信号、并且测量电路输入阻抗很高的情况。 7.3 压电式元件的结构形式 压电元件在传感器应用中，必须有一定 的预应力，以保证在作用力变化时，压电元 件始终受到压力；其次是保证压电元件与作 用力之间的全面均匀接触，获得输出电压 (或电荷)与作用力的线性关系。但是预应力 不能太大，否则将会影响其灵敏度。 7.3 压电式元件的结构形式 在压电式传感器中，一般利用压电元件的纵向压电效应较多，这时压 电元件大多是圆片式。也有利用其横向压电效应的，如图7-11所示的双 片弯曲式压电传感器。当自由端受力F时，压电元件将产生形变，如图7- 11(b)所示。其中心面 OO?的长度没有改变，上面aa?被拉长了，下面bb? 被压缩短了，从而产生压电效应，这时每片压电片产生的电荷为 (7-20) 式中，l—压电片的悬臂长度；b—单片压电片的宽度。 产生的电荷呈现在aa?和bb?面上。这种传感器可用作加速度传感器， 以及测量粗糙度的轮廓仪的测头等。 图7-11 双片弯曲式压电传感器原理图 7.4 压电式传感器的信号调理电路 7.4．1 压电式传感器的等效电路 压电式传感器可以看作一个电荷发生器，同时，它也是 一个电容器，如图7-12所示，其电容量为 (7-21) 式中，S—压电片极板面积；h—压电片厚度；?r—压电材料 的相对介电常数；?0—空气介电常数，?0＝8. 85×10?12F/m。 两极板间开路电压为 (7-22) 图7-1