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* 国家高技术研究发展计划（863计划 ):The National High Technology Research and Development Program of China * 国家高技术研究发展计划（863计划 ):The National High Technology Research and Development Program of China Work in the last two weeks Methodology SSS… Single wafer … Measure .. Step2 Step3 Step4 Optimize … Simulate .. Silicon-based … Traditional .. Polymer … Develop .. Integrate … switches .. Test Modify Set up Step1 Design Work in July and in this term Finished … 1 Simulate … 2 Fabricate … 3 Short … 4 Work in July and in this term Applications … Key … Project … Work in July and in this term Ti… Co… Dis… Co… Work in July and in this term Work in this term Simulate …. Fabricate … Work in the past two weeks Discussed with 1 Simulated … 2 Analyzing … 3 Designing … 4 fangdm@ime.pku.edu.cn * 图1 单端口网络可变电容的等效电路模型 * Frequency range:频率范围 Output power：输出功率 frequency pushing：推频系数 Power output variation within the bandwidth：带内功率波动 Tuning sensitivity:电调灵敏度 tuning linearity：调谐线性度 frequency pulling：频率牵引 harmonic rejection：谐波抑制 * 图1 单端口网络可变电容的等效电路模型 * * 图2 RF MEMS 压控振荡器原理示意图 * 图1 单端口网络可变电容的等效电路模型 * 图1 单端口网络可变电容的等效电路模型 * 图1 单端口网络可变电容的等效电路模型 * 图1 单端口网络可变电容的等效电路模型 * 图1 单端口网络可变电容的等效电路模型 * 图3 RF MEMS VCO测试框图 * 图3 RF MEMS VCO测试框图 * 图3 RF MEMS VCO测试框图 * 图3 RF MEMS VCO测试框图 * 图3 RF MEMS VCO测试框图 * 图3 RF MEMS VCO测试框图 * 图3 RF MEMS VCO测试框图 * 图3 RF MEMS VCO测试框图 * 图3 RF MEMS VCO测试框图 * 图3 RF MEMS VCO测试框图 * 图3 RF MEMS VCO测试框图 * 图3 RF MEMS VCO测试框图 * 图3 RF MEMS VCO测试框图 * * 国家高技术研究发展计划（863计划 ):The National High Technology Research and Development Program of China SC-JRP:Sigapore-Chian Joint Research Project Work in the last two weeks 电镀… …项目申请 …申请的准备 3 ….会议投稿 1 2 4 Work in the last two weeks 稀释HF溶液 HF 0.4mol/L， 腐蚀速率： 室温100nm/s， 32度时200nm/s HF 2.6mol/L HNO3 2.2mol/L 32度时300nm/s Ti湿法腐蚀 50:1:1 H2O:HF:HNO3 20:1:1 H2O:HF:H2O2 1:1:20 HF:H2O2:HNO3 Work in the last two weeks I2 0.09mol/L KI 0.6mol/L 腐蚀速率： 室温8-15nm/s Au湿法腐蚀 1:2:1 0 I2:KI:H2O 25g：7g：100ml Br2:KI:H2O 1:2:3 HF:HAc:HNO3 Work in the last