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氢等离子体处理对ZnO光电性质的影响-物理试验杂志
第 卷 第 期 物 理 实 验 ．３４ Ｎｏ．１１
３４ １１ Ｖｏｌ
年 月 ＰＨＹ ，
ＳＩＣＳＥＸＰＥＲＩＭＥＮＴＡＴＩＯＮ
Ｎｏｖ． ０１
０１４ １１ ４
２ ２
櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶
氢等离子体处理对ＺｎＯ光电性质的影响
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董敬敬 杨 坤 付康 宁
（ （ ） ； ， ）
中国地质 大学 北京 数理学院 地球物理与信息技术学院 北京
ａ． ｂ． １０００８３
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摘 要 借助于霍尔效应 拉曼散射 光致发光及电致发光测试技术 研究了氢等离子体处理以及随后的高温退火过
程对 薄 ： ，
Ｚ 膜及 纳米棒光学及电学性质的影响 实验结果表明 氢在 薄膜中不仅充当浅施主 而且还可以钝
ｎＯ ｎＯ ． ＺｎＯ
Ｚ
， ， ，
化晶界处缺陷相关的非辐射复合中心 从而使得载流子浓度及迁移率增大 近带边紫外发光增强 然而 钝化晶界的氢
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