非共振式压电直线电机精密驱动及定位控制-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学精密工程 棽椀 暋 椄 暋 斨旓旍棶棽椀暋斘旓棶椄 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椃 椄 暋 暋 暋 斄旛棶棽棸棻椃 旂 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻椃棸椄灢棽棻棾椆灢棻棸 非共振式压电直线电机精密驱动及定位控制 灣 棳 棳 棳 棳 曹小涛 李德全 李洪文 林冠宇 杨维帆 棬 棳 棭 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 吉林长春 棻棾棸棸棾棾 椇 暍 棳 棳 摘要 为实现光机结构 集成电路等领域中大行程及高精度的位移控制 利用较为适用的非共振式尺蠖型压电直线电机 棳 棳 基于高压功率运算放大器 设计了非共振式压电直线电机的精密复合放大驱动电路 通过理论分析及实验得到的伯德图 暎 棬 棭 棳 棳 验证了驱动电路的分辨率和幅频特性 以现场可编程门阵列 斊斝斍斄 为核心处理器 以光栅尺为反馈元件 通过分析非 棳 棳 共振式压电直线电机的多种运行模式 根据直线电机的运行时序 设计完成了开环大范围整步运行模式与闭环小范围单 棳 步运行模式相结合的控制策略 在单步运行模式中分别设计完成了 斝斏斈控制算法及 斝斏斈与压电陶瓷迟滞逆模型前馈相 暎 棳 棳 结合的复合控制算法 实验结果表明 该控制策略能够实现大行程内的精密位移控制 复合控制算法具有比 斝斏斈更加优 棳 棳 棳 越的控制效果 能够在 棽棻旐旐大行程内实现 棻棶椀旑旐的闭环定位控制精度 直线电机的最大驱动力可达 棾棸棸斘 满足大行 程高精度位移控制的应用需求暎 椇 椈 椈 椈 椈 关 键 词 非共振式压电陶瓷 迟滞逆模型 大行程高精度定位控制 复合控制模型 暋 暋 斊斝斍斄 中图分类号椇 椈 文献标识码椇 椇 棷 斣斝棾椆棿棶棻斣斎椂椆棻棶椆暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻椃棽椀棸椄棶棽棻棾椆 斝旘斿斻旈旙旈旓旑斾旘旈旜斿斸旑斾 旓旙旈旚旈旓旑斻旓旑旚旘旓旍旓旀旑旓旑灢旘斿旙旓旑斸旑斻斿 旔 旔旈斿旡旓斿旍斿斻旚旘旈斻旙旚斸斻旊旍旈旑斿斸旘旐旓旚旓旘 棳 棳