微机电系统,智能材料器件,双晶片驱动器,航空航天,微纳米技术课程论文资料.docVIP

北航微纳米制造技术基础 北京航空航天大学课程考核记录 2012-2013学年第一学期 课程名称：微纳米制造技术基础 姓名： 学号： 班级： 390713 任课教师： 袁松梅 1 北航微纳米制造技术基础 目录 北京航空航天大学课程考核记录................................................................................ 1 一， 论述微机电系统的特点，列举两个实例，并介绍其应用场合、结构及工 作原理。........................................................................................................................ 3 1，微机电系统的特点：....................................................................................... 3 2，微机电系统的实例：....................................................................................... 3 1，mems陀螺仪............................................................................................... 3 2，mems加速度计........................................................................................... 5 二， 微机电系统常用的智能材料有哪些？分析一种形状记忆合金器件的结构 和工作原理。................................................................................................................ 7 1， 智能材料。 .................................................................................................. 7 2，形状记忆合金器件的结构及工作原理........................................................... 7 三， 分析一种压电双晶片驱动器的结构和工作原理，分析实验结果，并论述 其可能的应用场合。.................................................................................................... 8 1， 新型压电扭转驱动器结构及工作原理 ...................................................... 8 2， 实验方法及结果 .......................................................................................... 8 3， 未来可能应用场合： ................................................................................ 10 四， 论述超声电机在航空航天领域的应用。.................................................... 10 2 北航微纳米制造技术基础 一， 论述微机电系统的特点，列举两个实例，并介绍其应用 场合、结构及工作原理。 1，微机电系统的特点： ①和半导体电路相同，使用刻蚀、光刻等制造工艺，不需要组装、调 整； ②进一步可以将机械可动部、电子线路、传感器等集成到一片硅板上； ③它很少占用地方，可以在一般的机器人到不了的狭窄场所或条件恶劣的地方使用； ④由于工作部件的质量小，高速动作可能； ⑤由于它的尺寸很小，热膨胀等的影响小； ⑥它产生的力和积蓄的能量很小，本质上比较安全。 2，微机电系统的实例： 1， mems陀螺仪 应用场合：微机械陀螺仪用于测量汽车的旋转速度（转弯或者打滚），它与低加速度计一起构成主动控制系统。所谓主动控制系统就是一旦发现汽车的状态异常，系统在车祸尚未发生时及时纠