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透射电子显微镜原理
第二章 透射电子显微镜
【教学内容】
1.透射电子显微镜的构造与成像原理
2.透射电镜图像的成像过程
3.透射电镜主要性能
4.表面复型技术
5.透射电镜观察内容
【重点掌握内容】
1.透射电子显微镜构造
2.表面复型技术
3.复型电子显微镜图像的分析。
【教学难点】
表面复型技术
2.1 透射电子显微镜的结构与成像原理
??? 透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源,用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨率、高放大倍数的电子光学仪器。
There are four main components to a transmission electron microscope:
1.???????? an electron optical column
2.???????? a vacuum system
3.???????? the necessary electronics (lens supplies for focusing and deflecting the beam and the high voltage generator for the electron source)
4.???????? software
电子光学系统(镜筒)(an electron optical column)是其核心,它的光路图与透射光学显微镜相似,如图所示,包括:照明系统,成像系统,观察记录系统。
图2-1 投射显微电镜构造原理和光路
2.1.1 照明系统
组成:由电子枪、聚光镜(1、2级)和相应的平移对中、倾斜调节装置组成。
作用:提供一束亮度高、照明孔径角小、平行度高、束斑小、束流稳定的照明源。为满足明场和暗场成像需要,照明束可在20-30范围内倾斜。
1. 电子枪
电子枪是电镜的电子源。其作用是发射并加速电子,并会聚成交叉点。 目前电子显微镜使用的电子源有两类:
热电子源——加热时产生电子,W丝,LaB6
场发射源——在强电场作用下产生电子,场发射电镜FE
热阴极电子源电子枪的结构如图2-2所示,形成自偏压回路,栅极和阴极之间存在数百伏的电位差。电子束在栅极和阳极间会聚为尺寸为d0的交叉点,通常为几十um。 栅极的作用:限制和稳定电流。
图 2-2? 电子枪结构
?
2. 聚光镜
从电子枪发射出的电子束,束斑尺寸大,相干性差,平行度差,为此,需进一步会聚成近似平行的照明来,这个任务由聚光镜实现,通常有两级聚光镜来聚焦。如图2-3。
? C1—为强磁透镜, ??
C2—弱磁透镜,长焦,小α。
????????? 为了调整束斑大小还在C2聚光镜下装一个聚光镜光栏。通常经二级聚光后可获得N,um的电子束斑。
????????? 同时,为了减小像散,在C2下还要装一个消像散器,以校正磁场成轴对称性的。
????????? 电子枪还可以倾斜2—30,以实现中心磁场成像。
图2-3 照明系统光路图
2.1.2 成像系统
由物镜、物镜光栏、选区光栏、中间镜(1、2)和投影镜组成.
1)? f=1-3mm),放大倍数100—300倍。
作用:形成第一幅放大像
2)? 20—120um,无磁金属制成。
作用:a.提高像衬度,b.减小孔经角,从而减小像差。C.进行暗场成像
3)? 20-400um,
作用:对样品进行微区衍射分析。
4)? 0—20倍
作用a.控制电镜总放大倍数。B.成像/衍射模式选择。
5)?
小孔径角有两个特点:
a.?????? 景深大,改变中间镜放大倍数,使总倍数变化大,也不影响图象清晰度。
b.?????? 焦深长,放宽对荧光屏和底片平面严格位置要求。
注意:有些电镜还装有附加投影镜,用以自动校正磁转角。
2.1.3 观察记录系统
观察和记录系统包括荧光屏和照相机构。荧光屏涂有在暗室操作条件下,人眼较敏感、发绿光的荧光物质,有利于高放大倍数、低亮度图像的聚集和观察。 照相机构是一个装在荧光屏下面,可以自动换片的照相暗盒。胶片是一种对电子束曝光敏感、颗粒度很小的溴化物乳胶底片,为红色盲片,曝光时间很短,一般只需几秒钟。新型电镜均采用电磁快门,与荧光屏联动。有的装有自动曝光装置。现代电镜已开始装有电子数码照相装置,即CCD相机。
2.2 主要部件的结构与工作原理
2.2.1 样品平移与倾斜装置(样品台Specimen Holders )
电镜样品小而薄,通常用外径3mm的样品铜网支持,网孔或方或园,约0.075mm,见图2-4。
图2-4 样品铜网放大像(a)方孔 (b)圆孔
?
样品台的作用是承载样品,并使样品在物镜极靴孔内平移、倾斜、旋转,以选择感兴趣的样品区域或位向进行观察分析。平移是样品台的基本动作,平移最大值? 1mm。
?? 倾斜装置用的最普遍的是“侧插”式倾斜装置,如图所示图2-5。
图2-5 “侧插”
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