透射电镜基础知识.ppt

Hubble Space Telescope “哈勃”号太空望远镜是目前被送入轨道的口径最大的望远镜。它全长12.8米，镜筒直径4.27米，重11吨。 1874年德国人阿贝从波动光学的观点提出了阿贝成像原理。 样品出射波在像平面重构成像 现代透射电子显微镜 FEI的Titan 80-300 STEM电镜 JEOL的双球差透射电镜  JEM-2200FS OL-CL Cs 电子与材料的相互作用 电子显微学技术的发展 位错(dislocation)与材料的性质 金属的强度一般低于其原子键所赋予的理论强度。 Taylor提出位错理论进行解释。 赫什（Hirsch）用电镜从实验上证明了位错的存在。 纳米材料的结构表征 Somu Iijima(饭岛)于1991年在电子显微镜下发现纳米碳管，Nature，354 (1991) 56. 电学性能、铁电性能与微结构的关系 各种电子枪的特性比较 W(100) ZrO/W(100) 约5×108 约5×108 约5×108 约5×106 约5×105 亮度(200KV)/A·cm-2·str-1 10~100 nm 10~100 nm 0.1~1 μm 10 μm 50 μm 光源尺寸 0.3~0.5 0.6~0.8 0.6~0.8 1.5 2.3 能量发散度/eV 10-8 10-7 10-7 10-5 10-3 真空度/Pa 使用条件 300 1,600 1,800 1,800 2,800 温度/K 贵/复杂 贵/容易 贵/容易 便宜/简单 便宜/简单 价格/操作性 每隔数小时必须进行一次闪光处理 更换时要安装几次 安装时稍费时间 无需 无需 维修 1% 10% 10% 100% 100% 电流效率 20~100 冷阴极FEG W(310) 热阴极FEG LaB6 W 20~100 约100 约20 约100 电流/μA 发射 场发射 热电子发射 第一聚光镜 （C1 condenser） 第一聚光镜将电子枪的会聚斑进一步地会聚，得到更小的束斑。 它的功能是控制束斑（spot size)的大小。 C1 Crossover C2 Crossover 第二聚光镜是控制照射到样品上的电子束的会聚角以及照明区域的直径。 第二聚光镜（C2 condenser） 过焦 欠焦 正焦 The most common conditions are: No aperture: Bright field without diffraction contrast. Aperture is centred on the optical axis. Aperture displaced, selecting a diffracted beam. Objective lens High resolution dark field image Beam is tilted so that the diffracted beam is on the optical axis. 物镜及物镜光阑（objective lens and aperture) 物镜光阑(Objective aperture) 样品 物镜 后焦面 物镜光阑 物镜 振幅衬度 相位衬度 SAD aperture Virtual aperture 选区光阑（Selected-area diffraction aperture） 选区光阑位于像平面上，可以选择不同区域得到电子衍射。 理论上，选区光阑应放在物面上，但在电镜中无法实现。放在像面上可以得到解决。 若第一中间镜的物平面是物镜后焦面上的电子衍射花样，则最后在显示屏上得到的是电子衍射图 。 中间镜 (Intermediate lens) 若第一中间镜的物平面是物镜的像平面，则最后在显示屏上得到的是像。 Choose image Choose back focal plane 放大倍数的改变是通过调节投影镜和中间镜的强度来实现的。 投影镜（projector lens） Magnification in the electron microscope can be varied from hundreds to several hundred thousands of times. 在低倍成像模式下，不是所有的透镜都起作用。 倾转样品杆 Be铍倾转样品杆 加热样品杆 加热倾转样品杆 低温样品杆 低温倾转样品杆 电子显微学 电子显微学是一门探索电子与固态物质结构相互作用的科学。 人眼睛的分辨率~0.2 mm，电镜的空间分辨率~1 ? JEOL JEM 2100F的点分辨率为2.3 ? 凝聚态物理、半导体电子技术、材料学、纳米科学、化学、生物及地