[工学]薄膜考试.docVIP

1、真空区域的划分及不同真空状态下气体的性质 为了研究真空和实际使用方便，常常根据各压强范围内不同的物理特点，把真空划分为以下几个区域。 粗真空区域：1×105～1×102Pa （760～1 Torr） 低真空区域：1×102～1×10-1Pa （1～10-3 Torr） 高真空区域：1×10-1～1×10-5Pa （10-3~10-7 Torr） 超高真空区域：1×10-5Pa （10-7 Torr） 真空状态 气体性质 低真空 105~102 Pa 760~1 Torr 气体状态与常压相比较，只有分子数目由多变少的变化，而无气体分子空间特性的变化，分子间相互碰撞频繁。 中低真空 102~10-1 Pa 1~ 10-3 Torr 气体分子间，分子与器壁间的相互碰撞不相上下，气体分子密度较小。 高真空 10-1～10-5 Pa 10-3～10-7 Torr 分子间相互碰撞极少，分子与器壁间碰撞频繁。气体分子密度小。 超高真空 10-5 Pa 10-7 Torr 气体分子密度极低与器壁碰撞的次数极少，致使表面形成单分子层的时间增长。气态空间中只有固体本身的原子，几乎没有其它原子或分子存在。 2、与单晶硅太阳能电池比较，a-Si:H太阳电池具有哪些特点？ a-Si:H太阳电池除具有单晶太阳电池的一般优点外，还具有如下特点： ①制作工艺简单，在制备a-Si:H薄膜的同时，就