检测技术第3版施文康余晓芬第3章节位移测量幻灯片.pptVIP

二、光纤直径的测量 激光能量法 一、用弦高法测量大直径的孔和轴 如图所示为手持式测量装置。在装置基体1的中央放着指示表4；两侧装有带滚柱3的支杆2。 这种装置在测量前应在平板上进行调整指示表的零位，即两个滚柱与平板表面接触，而在指示表的量杆下端，垫以适当的块规。 4.2.3大尺寸的测量 4.2.3坐标测量法 坐标测量法是几何量测量最基本最常用的测量方法，通过测量被测几何要素上若干个点的位置坐标继而求得被测参量。包括采样读数和数据处理两个步骤。 单坐标、双坐标、三座标。 实现测量的关键是建立被测参量和采样点在测量机坐标系中的坐标关系模型。 三坐标测量机机架结构 三坐标测量机的主体主要由以下各部分组成：底座、测量工作台、立柱、X及Y向支撑梁和导轨、Z轴部件及测量系统（感应同步器、激光干涉仪、精密光栅尺等）、计算机及软件。 CMM Chameleon 7107 三坐标测量机 美国布朗·夏普公司制造 测量范围: 650×1000×650 4.3 形位误差的测量 形位误差测量是将被测要素和理想要素进行比较，从而用数值描述实际要素与理想要素形状或位置上的差异。每个参数的测量过程包括测量和评定两个阶段。 4.3.1 圆度误差 圆度误差指包容同一正截面实际轮廓且半径差为最小的两同心圆的距离fm 最小包容区域法最小，最小二乘法稍大 圆度误差的评定方法 圆度仪测量法 4.3.2 表面粗糙度测量 定义：表面粗糙度测量是一种微观几何形状误差。 特点：量值小（小于1mm)，变化频率高，所以粗糙度测 量方法必须具有分辨率高和频响快的特性。 测量方法： 接触式轮廓仪（触针式轮廓仪） 电感式轮廓仪、激光干涉式、压电式轮廓仪。 表面粗糙度的测量基准线原则上要求与被测表面的理想形状一致，但在实际测量中难以实现。比较常见的是利用与传感器壳体安装成一体的导头建立相对测量基准。 2、非接触式轮廓仪 国家标准中规定的评定基准为轮廓中线：最小二乘中线和算术平均中线。 表面粗糙度的高度评定参数： 轮廓算术平均偏差: 微观不平度十点高度： 轮廓最大高度： 表面粗糙度的评定方法 4.4 纳米测量技术 定义：尺度为0.01nm-100nm的测量技术。 一、扫描隧道显微镜（STM） 1981年，IBM公司苏黎世实验室研制成功了世界第一台新型的表面分析仪器——扫描隧道显微镜（Scanning Tunneling Microscope,以下简称STM）。它的出现，使人类第一次能够实时地观察单个原子在物质表面的排列状态和与表面电子行为有关的物理、化学性质。 STM的基本原理是利用量子力学中的隧道效应，在样品与探针之间加一定的电压，当样品与针尖距离非常接近时，样品和针尖之间将产生隧道电流Ｉ∝Ｖ·exp（－２ｋｄ）,Ｖ是探针与样品之间的电压，ｄ为样品与针尖距离，k为常数。从上式可以看出，Ｉ与ｄ成指数关系，即隧道电流Ｉ对样品的微观表面起伏特别敏感，当ｄ减小０.1ｎｍ时，Ｉ将增加一个量级。 结构示意图 我们可以把扫描隧道显微镜的工作过程总结为：利用探针针尖扫描样品，通过隧道电流获取信息，经计算机处理得到图象。 1990年，IBM公司的科学家展示了一项令世人瞠目结舌的成果，他们在金属镍表面用35个惰性气体氙原子组成“IBM”三个英文字母。 二、原子力显微镜（Atomic Force Microscope 简称AFM） 原子力显微镜的设计思想是这样的：一个对力非常敏感的微悬臂，其尖端有一个微小的探针，当探针轻微地接触样品表面时，由于探针尖端的原子与样品表面的原子之间产生极其微弱的相互作用力而使微悬臂弯曲，将微悬臂弯曲的形变信号转换成光电信号并进行放大，就可以得到原子之间力的微弱变化的信号。 原子力显微镜同样具有原子级的分辨率。由于原子力显微镜既可以观察导体，也可以观察非导体，从而弥补了STM的不足。 左图是目前商品化的原子力显微镜仪器普遍采用的激光检测法示意图。 工作台1上放置被测件2，通过测量轴体4上的可换测量头3与被测件接触测量。测量轴体4是一个高精度圆柱体，在精密滚动轴承支持下，通过钢带8，滑轮9，平衡锤12和阻尼油缸13完成平稳的轴向升降运动。配重7用来调整测量力。 测量轴体的轴线上固定有基准标尺(玻璃刻尺)5，其上有l01条刻线，刻度间隔为1mm。由光源11发出的光，经透镜10，再透过基准玻璃刻尺，将毫米刻线影象投射入螺旋读数显微镜6，进行读数。 目镜8的显微读数镜头中，可看到三种刻线