检测技术作者卜云峰主编第十一章节第一节光栅传感器课案幻灯片.pptVIP

光栅在机床上的安装位置（2个自由度） 光栅在机床上的安装位置（3个自由度） 数显表 光栅在机床上的安装位置 （3个自由度）（续） 2自由度光栅数显表 X位移显示 Z（Y）位移显示 3自由度光栅数显表 光栅数显表（续） 三座标数显表 SDS8-3E 光栅数显箱功能: 公制/英制转换绝对/相对转换线性误差补偿正反方向计算归零插值补偿到达目标值停机PCD圆周分孔200组零位记忆电蚀深度目标值显示实时工作位置显示掉电记忆 光栅数显表（续） 设定按键 安装有直线光栅的数控机床加工实况 防护罩内为直线光栅 光栅扫描头 被加工工件 切削刀具 角编码器安装在夹具的端部 第十一章 第一节 光栅传感器 第一节 光栅传感器 数字式传感器可以把输入量转换成数字量输出，直接送入计算机进行数据处理。数字式传感器是检测技术、微电子技术和计算机技术的综合产物，是传感器技术发展的一个重要方向。 进行位移测量的数字式传感器主要有光栅、磁栅、容栅、感应同步器和旋转编码器等。本章将对这几种位移—数字传感器作以介绍。 光栅种类很多，可分为物理光栅和计量光栅。我们这里所讲的光栅传感器是根据莫尔条文原理制成的一种计量光栅，计量光栅指的是测量长度的光栅，多用于直线位移和角位移的测量。 光栅传感器由光源、透镜、光栅副、光电元件四大部分组成 按光栅形状 长光栅 圆光栅 按光线走向 透射光栅 反射光栅 光源 透镜 主 光 栅 指 示 光 栅 光电 元件 光栅副 光 学 玻 璃 工 业 白 玻 璃 一、光栅传感器的结构 栅距 栅线宽度 栅线缝隙宽度 长光栅 圆光栅 图10-2 长光栅与圆光栅示意图 圆光栅上的刻线： 径向刻线 切向刻线 圆光栅结构示意图 二、莫尔条纹形成原理（长光栅） 1 主光栅 2 指示光栅 将主光栅和指示光栅刻线面相对叠合，中间留很小间隙，栅线保持很小夹角θ，则在a方向上会透射出明暗相间的莫尔条纹。 栅距 一般选择主光栅和指示光栅的光栅常数（栅距）相等，则有： 莫尔条纹斜率： 莫尔条纹间距： 结论：条纹间距B是栅距W的倍数，可以通过检测较宽B条纹来检测微小的栅距变化。 莫尔条纹的重要特性： （1）大量栅线具有平均效应 （2）放大作用 放大倍数 理想光强曲线 实际光强曲线 莫尔条纹与输出光强信号的关系 （3）x向位移与光强的对应关系 当莫尔条纹的亮带出现的时候，相应的光电元件接收到一个幅值比较大的信号，暗带出现时，接收到幅值较小的信号，信号的频率取决于光栅常数W，如图所示。这样就将光栅的位移信号变换成了电信号。 每当光栅移动一个栅距（W），莫尔条纹明暗变化一次，光电元件感受到的光强按正弦规律变化一个周期（ ），它输出的电信号也就发生相应地变化。在去除光电元件输出信号中的直流分量后，我们可以得到光电元件输出电压和光栅位移之间的关系式： 输出信号经整形放大和微分电路变为脉冲信号，送入计数器进行计数，计数值反映位移的大小。 三、辨向电路 在实际应用中，由于位移具有方向性，即位移有正负之分，如果采用一个光电元件则无法确定光栅的移动方向。为此，必须设置辨向电路。为了实现这种功能，我们可以在相距B/4的莫尔条纹位置上设置两个光电元件。 辨向电路原理方框图 向右移动的波形 向左移动的波形 光电元件接收到的信号 和 信号波形如图 为了增加光栅传感器的分辨率和测得比栅距更小的位移量，以提高测量精度，若以移过的莫尔条纹数来确定位移量，则其分辨率为光栅栅距。一般可以通过增加光栅刻线密度（机械的方法）和对测量信号进行细分（电气的方法）的这两种方法来提高测量精度。 第一种方法制造工艺比较麻烦，成本较高而且会给安装和调试带来困难，因此一般不采用这种方法，而采用对测量信号细分方法获得所需的分辨率。下面介绍几种常用的电气细分法。 四、细分电路 （一）直接细分 在一个莫尔条纹的间隔B内，放置若干个光电元件来接收同一个莫尔条纹信号，从而得到多个不同相位的信号。如图获得这四个依次相差的信号后，经微分电路和辨向电路送可逆计数器进行计数，这样就将光栅的位移量转换成了数字量。 根据电脉冲数量识别光栅位置（或速度）的变化。正向移动时加法计数，反向移动时减法计数。 （二）电桥细分 光电信号1 光电信号2 输出电压 桥臂电阻1 桥臂电阻2 电桥平衡条件： 输出表达式： 恰当配合的 参数，可以获得合理细分的输出电压。 令 选取 ， 则可得 采用多个类似电桥，选取不同R1/R2值，就可以