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第5章 压电式传感器 二　实际等效电路 图6.9 压电传感器等效电路和测量电路 (a)电压源；(b)电荷源 第5章 压电式传感器 第五节 压电传感器测量电路 一、电压放大器 电压放大器又称阻抗变换器。它的主要作用是把压电器件的高输出阻抗变换为传感器的低输出阻抗，并保持输出电压与输入电压成正比。 (1)压电输出特性(即放大器输入特性): 压电回路输出特性 电压灵敏度 第5章 压电式传感器 幅值 相位 (2)动态特性 压电器件与测量电路相联的动态特性曲线 第5章 压电式传感器 高频特性 　当ω时，被测量频率愈高(实际只要ω≥3)，则回路的输出电压灵敏度就愈接近理想情况，压电器件的高频响应特性好。 低频特性 　当ω时，被测量的频率愈低，动态误差δ=(k-1)×100%也愈大，同时相位角的误差也愈大。 第5章 压电式传感器 二、电荷放大器 电荷放大器实质上是负反馈放大器，基本电路如图所示。 第5章 压电式传感器 等效电路如下图： 第5章 压电式传感器 当放大器开环增益和输入电阻、反馈电阻相当大时，输出电压： Ca —传感器压电元件的电容；Cc—电缆电容；Ci —放大器输入电容；CF—放大器反馈电容 A足够大时 第5章 压电式传感器 总结: 电荷放大器的输出电压仅于输入电容量和反馈电容有关，若保持CF数值不变，输出电压正比于输入电荷量。 当(1＋A)CF＞＞10(Ca＋Cc＋Ci)时，认为传感器的灵敏度与电缆电容无关，更换电缆或使用较长的电缆时，不用重新校正传感器的灵敏度。 第5章 压电式传感器 为得到必要测量精度，CF的温度和时间稳定性要好，实际电路中CF的容量做成可选择的。 电容负反馈线路在直流工作时，相当于开路状态，对电缆噪声较敏感，放大器零漂也较大，为减小零漂，提高工作稳定性，一般在反馈电容两端并联一个电阻RF(1010~1014)提高直流反馈。 第5章 压电式传感器 5.6.1 压电式传感器 一、压电式传感器应用特点： 灵敏度和分辨率高，线性范围大，结构简单、牢固，可靠性好，寿命长； 体积小重量轻，刚度强度、承载能力和测量范围大，频带宽，动态误差小 易于大量生产，便于选用，使用和校准方便，并适用于近测、遥测。 第六节 压电式传感器及其影响因数 第5章 压电式传感器 压电式加速度传感器 压缩型 剪切型 复合型 第5章 压电式传感器 压电式测力传感器是利用压电元件直接实现力－电转换的传感器，在拉、压场合，通常较多采用双片或多片石英晶片作压电元件。它刚度大，测量范围宽，线性及稳定性高，动态特 性好。按测力状态分，有单向 、双向和三向传感器，它们在 结构上基本一样。 压电式力传感器 第5章 压电式传感器 必须通过弹性膜、盒等，把压力收集、转换成力，再传递给压电元件。为保证静态特性及其稳定性，通常多采用石英晶体作压电元件。 压电式压力传感器 第5章 压电式传感器 5.4.2 影响压电式传感器主要因数 横向灵敏度 2环境温度和湿度 安装差异及基座应变 噪声等 第5章 压电式传感器 第一节　压电式传感器的工作原理第二节　压 电 材 料第三节　压电元件的常用结构形式第四节　压电式传感器的等效电路第五节　压电式传感器的测量电路第六节　压电式传感器的应用 第5章 压电式传感器 压电式传感器 第5章 压电式传感器 压电效应（Piezoelectric Effect） 一些离子型晶体的电介质不仅在电场力作用下，而且在机械力作用下，都会产生极化现象。且其电位移D(在MKS单位制中即电荷密度σ)与外应力张量T成正比： D = dT (6-1) 式中 d——压电常数矩阵。 当外力消失，电介质又恢复不带电原状；当外力变向，电荷极性随之而变。这种现象称为正压电效应，或简称压电效应。 第一节 压电传感器工作原理 第5章 压电式传感器 逆压电效应 若对上述电介质施加电场作用时，同样会引起电介质内部正负电荷中心的相对位移而导致电介质产生变形，且其应变S与外电场强度E成正比：  S=dtE （6-2） 式中 dt——逆压电常数矩阵。这种现象称为逆压电效应，或称电致伸缩。 压电效应图 (a)正压电效应；(b)压电效应的可逆性 压电材料的主要特性参数: 压电常数 弹性常数 介电常数 机电耦合系数 电阻 居里点