NDL自动排气检测系统.docVIP

NDL自動排氣監測系統(SSTT.NO.26) 吳世全、林永彬 / 國家奈米元件實驗室湯新達、蘇恆立、謝心色 / 工研院環境與安全衛生技術發展環安中心自動排氣監測系統主要在建立排氣管路靜壓與其流量之監測，藉著對管路靜壓的監測可以掌握管路阻塞與靜壓平衡被改變之情形，進而在最短的時間內協助清除粉塵、調整擋板以恢復其穩定，避免造成製程不良率之提高，也可減少毒氣外洩及火災爆炸的危險。且收集以往較欠缺的排氣系統和製程間之關係，及排氣系統設備(如burning - box等)效率等的資料；藉著排氣監測系統的建立，可持續收集排氣管路靜壓資料且分析研究，而釐清靜壓變化和管路排放特性的關係，並正確的預知危險及改善半導體之製程。計畫目的此製程排氣系統(壓力及溫度)中央監測、診斷系統建立後，將可達成下列目標：一、利用警報及早發現不正常流速以避免粉塵沈積而淤塞；二、利用警報及早注意排氣壓力振盪以避免製程良率受到影響；三、即早注意局部排氣系統壓力不平均導致製程排氣不良及維護保養時潛在危險；四、中央監控系統集中管理並能有效顯示現場控制畫面；五、利用診斷功能判斷管路壓力異常發生之管段，現場人員可針對異常處立刻進行修復，使中斷損失減到最低；六、風管系統若需擴充或修改時可參考目前系統壓力分布進行管路修改，以避免壓力不平衡導致抽風量不足。實施方法自動排氣監測系統之執行流程可整理如下：首先需繪