自动检测技术教学课件作者3版宋文绪第六章幻灯片.pptVIP

6.5 光栅位移测试 2、莫尔条纹 （1）莫尔条纹：光栅式传感器的基本工作原理是利用光栅的莫尔条纹现象来进行测量的。莫尔条纹如图所示。 6.5 光栅位移测试 （2）莫尔条纹的特征 1) 运动对应关系：莫尔条纹的移动量和移动方向与主光栅相对于指示光栅的位移量和方向有严格的对应关系。如图所示。 6.5 光栅位移测试 2)减小误差：莫尔条纹对光栅的刻线误差有平均作用，能在很大程度上消除栅距局部误差和短周期误差影响。 3)位移放大：莫尔条纹的间距随着光栅线纹交角而改变，其关系如下： 从上式可知，θ越小，条纹间距B将变得越大，莫尔条纹有放大作用，其放大倍数为： 6.5 光栅位移测试 3、光栅的信号输出 主光栅移动一个栅距 W，莫尔条纹变化一个周期，莫尔条纹的变化近似为正弦波形，可看成是一个直流分量与的叠加，即： 为了能够辨别方向，设置了辨向环节，结构框图如示。 6.6 码盘式传感器 码盘式传感器是以编码器为基础的，它是测量轴角位置和位移的方法之一。 6.6.1 光电码盘式传感器的工作原理 光电码盘式传感器是用光电方法把被测角位移转换成以数字代码形式表示的电信号的转换部件。其工作原理 示意图如示。 1— 光源 2 — 柱面镜 3—码盘 4—狭缝 5—形成件 6.6 码盘式传感器 6.6.2 光电码盘码盘按其所用码制可分为二进码、循环码、十进码、六十进码等。 1、二进制码盘 图所示是一个四 位二进制码盘，涂黑 部分输出为 0，空白 部分输出为 1。 6.6 码盘式传感器 二进制码盘的特点为： （1） n位二进制码盘能分辨的角度为： （2）二进码为有权码，编码Cn Cn-1…C1 对应于零位算起的转角为: 6.6 码盘式传感器 2、循环码码盘 图是一个四位的循环码盘，表6.6.2 是十进制数、二进制数及四位循环码的对照表。 二进制码转换成循环 码的规则是：二进制 码与其本身右移一位 后并舍去末位的数码 作不进位加法得循环码。 6.6 码盘式传感器 若R表示循环码，C为二进制码，则： 循环码变成二进制码的关系式为： 6.6 码盘式传感器 二进制码与循环码的转换电路如图。 6.6 码盘式传感器 二进制码与循环码的转换电路如图。 6.6 码盘式传感器 6.6.3 光电码盘的应用图是一光电码盘测角装置。 ZYF62/09系列光电码盘 6.7 激光式传感器 6.7.1 激光的特性和稳频方法1、激光的特性 （1）方向性强 （2）单色性好 （3） 亮度高 （4） 相干性好 2、激光器 按激光器的工作物质可分为以下几类： （1）固体激光器：常用的有红宝石激光器、钕玻璃激光器等。 （2）气体激光器：常用的为氦氖激光器、二氧化碳激光器、一氧化碳激光器等。 6.7 激光式传感器 （3） 液体激光器：液体激光器分为无机液体激光器和有机液体激光器等。 （4） 半导体激光器：半导体激光器是比较年轻的一种，比较成熟的是砷化镓激光器。 3、激光的稳频方法 较常用的稳频方法是兰姆下陷稳频法。  6.7 激光式传感器 6.7.2 激光干涉传感器测长原理 激光干涉传感器测长原理实质是光的干涉原理，常用的是迈克尔逊双光束干涉系统。 测长的基本公式为： 激光干涉传感器以激光为光源，具有以下优点： （1）测量精度高，如测量一米长度精度可达10 -7 ~ 10 - 8 量级。 （2）分辨率高，并可测出10 – 4 nm以下的长度变化。 （3）量程大，可达几十米。 （4）便于实现自动测量。 6.8 磁电感应式速度传感器 磁电感应式传感器也称为感应式传感器或电动 式传感器，是利用导体和磁场发生相对运动产生感应电动势的。 6.8.1 传感器工作原理及测量电路1、磁电感应式传感器工作原理 根据电磁感应定律，线圈中的感应电势由下式计算： 6.8 磁电感应式速度传感器 磁电感应式传感器的结构原理如图所示。 6.8 磁电感应式速度传感器 线圈在磁场中作直线运动时，它所产生感应电势为： 线圈在磁场中转动时产生的感应电势为： 由上述可知，磁电传感器可用来测定线速度和 角速度。 6.8 磁电感应式速度传感器 2、磁电感应式传感器测量电路 位移、速度和加速度测量电路如图所示。该电路用开关S切换，当开关S放在“1”位置时，经过一个积分电路，可测量位移的大小；当开关S