极板电压与间距对大气压射频氩等离子体放电参数的-强激光与粒子束.PDF

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２２ １２ Ｖｏｌ．２２ Ｎｏ．１２ 　 　 年 月 ， ２０１０ １２ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｄｅｃ． ２０１０ 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２０１０１２３０１５０５ 　 极板电压与间距对大气压射频 氩等离子体放电参数的影响 庄 娟， 王德真， 刘莉莹 　 　 　 （大连理工大学 物理与光电工程学院，大连 １１６０２４） 摘 要： 基于 维流体力学模型，对大气压射频裸露金属电极氩气放电过程进行了研究。模型中考虑了 １ 　　 　 　 氩等离子体放电过程中主要发生的激发和电离等 个反应过程，对等离子体反应产生的主要粒子，包括电子、 ７ 氩原子离子 ＋ 、氩分子离子 ＋ 和氩激发态 等，建立连续性方程、动量方程和电流平衡方程。分析了极 Ａｒ Ａｒ Ａｒ ２ ＋  ＋ 板电压、极板间距对上述粒子数密度分布的影响。给出了电子， ， 和 密度随极板电压及间距变化 Ａｒ Ａｒ Ａｒ ２ 的时空演化过程。得出极板电压或极板间距的改变会使放电空间的电场发生改变，对应一定的极板间距，极板 电压有一个最佳值，极板电压和间距的变化会使对应的极板间有一个最佳电场值，而对应最佳电场有一个等离 子体气体间最佳反应系数，从而使放电空间粒子数密度发生改变。 关键词： 等离子体； 大气压射频放电； 极板间距； 极板电压 　　 　 　 　 　 中图分类号： 文献标志码： ： ／ Ｏ５３９ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＨＰＬＰ３０１５ 　　 　 　　　　 　 　　 目前，由于大气压气体放电所产生的非平衡等离子体中电子温度和活性粒子浓度较高，因此在等离子体薄 　　 ［ ］ １５ 膜沉积、刻蚀、消毒灭菌、生化清洗等领域将具有广阔的应用前景 。而在大气压下，采用裸露金属电极结构 ［ ］