形位误差测量试验-计量技术试验教学中心.PDFVIP

形位误差测量实验 实验指导书 计量技术实验教学中心 实验1 用表面粗糙轮廓仪测量表面粗糙度 1.实验目的 （1） 掌握SURFCOM 表面粗糙轮廓测量仪测量原理； （2 ） 了解表面粗糙轮廓测量仪的结构并掌握测量表明粗糙度的方法； （3 ） 加深对表面粗糙度的评定参数的理解，如轮廓算数平均偏差 Ra 和微观不平度十 点高度Rz 等。 2.实验原理 SURFCOM 表面粗糙轮廓测量仪是引进日本株式会社东京精密的产品，用于测量评 定表面粗糙度及轮廓度的一系列参数，如轮廓算术平均偏差 Ra 值和微观不平度十点高 度Rz 等。 表面粗糙轮廓测量仪主要由探针、传感器、控制箱、工作台和计算机等主要部件构 成，如图 1- 1 所示。 图1-1 传感器是粗糙度仪的主要部件之一，在传感器测杆的一端装有金刚石探针 DM43801 ，探针尖端为曲率半径r=2µm ，顶角60°的圆锥形 （如图1 中测针针尖形状）。 测量时让探针与被测工件表面垂直接触，利用驱动器以一定的速度带动传感器和探针移 动。由于被测表面轮廓峰谷起伏，探针在被测表面滑行时，将产生上下移动。此运动经 支点经传感器使磁芯同步地上下运动，从而使包围在磁芯外面的两个差动电感线圈的电 感量发生变化，将测针微小的垂直位移变化转换为电信号，通过放大器将信号放大，通 过软件计算显示有关粗糙度的数据和图形输出。 3.实验仪器和设备 （1） SURFCOM 1900DX3- 12 表面粗糙度轮廓测量仪。 （2 ） 探针、传感器、断差标准片和标准片，如图 1-2 所示。 图1-2 4.实验内容及步骤 （1）系统启动 1） 打开气泵； 2 ） 打开粗糙度仪的计算机电源和控制箱电源，点亮控制盘的“Roughness”按键； 3 ） 打开ACCTee 测量软件，弹出对话框，点击确定，使传感器测针自动归零。 （2 ）传感器校正 方法一: 使用断差标准片 1） 单击菜单的“校正”工具栏，选择其中的“校正” ，在右侧的对话框“选择探针”为 DM43801 型号；“选择校正方法”为断差标准片校正。 2 ） “设定校正条件” ，校正参数选“Ds.A1.ACCT(大范围)” ，校正标准值为20.79µm （由断差标准片上显示），校正倍率为“+/- 128.00µm”。 3 ） “设置校正装置” ，将断差标准片置于工作台平面上，把探针自动停在断差标准 片右侧的左端 （如图1-3 所示），根据窗口右下角照片进行确认。 图1-3 4 ） “执行校正” ，单击“编辑”按钮，弹出对话框，“基本条件” 中，测量类型为“断面 测量” ，测量长度选“任意” ，为7.500mm ；测量速度选0.150mm/s ，其他默认。然后单击 “滤波器” ，λs 滤波器，在“使λs 有效”前打√，选“波长” ，为2.5µm ，然后点击OK. 5 ） 点击“执行测量”键，开始进行测量，在画面上显示测量的形状。（注意:如果不 能完成3 个槽的测量，就不能进行校正。在不能完成 3 个槽的测量时，请确认是否正确 自动停止位置、测量长度等，然后再次执行校正。） 6 ） 测量结束，出现执行校正结果对话框，按OK 键进行登记；然后单击“关闭”按 钮，结束校正。 方法二：使用标准片 1） 单击菜单“校正”工具栏，选择其中的“校正” ，在右侧的对话框中“选择探针”为 “DM43801”型号；“选择校正方法”为“利用标准片进行校正” 。 2 ） “设定校正条件” ，校正参数选Ra ，校正标准值为3.18µm(标准片右侧校正片的 显示值) ，校正倍率为“+/- 128.00µm”。 3 ） “设置校正装置” ，将标准片置于工作台平面上，把探针自动停止在标准片的右 侧校正片左端 （如图1-4 ），根据窗口右下角照片进行确认。 图1-4 4 ） “执行校正” ，单击“编辑”按钮，在弹出的对话框基本条件中，测量类型为“断 面测量” ，测量长度选“任意” ，为7.500mm ，