现代材料分析与测试技术第6章电子与物质的交互作用(651KB).ppt

5.2.6 入射电子和晶体中电子云相互作用 * 造成电子云的集体振荡现象，称为等离子激发 在等离子激发过程，入射电子的能量损失也具有一定的特征值，并随元素和成分的不同而异。 如果入射电子引起等离子激发后能逸出试样表面，则这种电子称为特征能量损失电子。 若对这种电子信息进行能量测量，就可以进行成分分析，称为能量分析电子显微术； 如果利用这种电子信息来成像，则称为能量选择电子显微术。 这两种技术已在透射电子显微镜中应用。 * 5.2.7 入射电子和晶格相互作用 在物质晶格点阵中原子不是静止不动的，而是在节点平衡位置上作不断热振动，这种现象称为晶格振动。 晶格振动的能量也是量子化的，它的能量量子称为声子，等于hv。 * 当晶格的振动回复到原来状态时，它将以声子发射的形式把这部分能量释放，这种现象称为声子激发。 如果入射电子经过多次声子散射后所损失的总能量约在10－100eV之间，便返回试样表面逸出，则这种电子称为低损失电子(LLE)，它是产生电子通道效应的主要衬度来源。 * 5.2.8 周期脉冲电子入射的电声效应 如果入射电子是采取周期脉冲方式照射试样，而且频率极高(例如频率在100kHz－5MHz间)，就会在试样中产生声波，这种现象称为电声效应。 近年来扫描电镜所发展的新成像技术中，由电声效应所产生的声波信息也是十分重要的成像信息。 * 5.2.9 透射电子(TE) 如果样品是薄膜，例如厚度为几十至几百纳米，比入射电子的有效穿透深度小得多，就会有相当数量的入射电子穿透样品被装在样品下方的检测器接收，叫做透射电子。 * 1.质厚衬度效应 样品上的不同微区无论是质量还是厚度的差别，均可引起相应区域透射电子强度的的改变，从而在图像上形成亮暗不同的区域，这一现象称为质厚衬度效应。 利用这种效应观察复型样品，可以显示出许多在光学显微镜下无法分辨的组织形貌细节。 * 2.衍射效应 与晶体物质对X射线的衍射规律相同，其衍射条件由布拉格方程给出 2dsinθ＝λ 式中 d－样品晶体的晶面间距； λ—入射电子的波长； θ—入射束与晶面的掠射角。 当λ已知时，测出产生衍射效应的一系列掠射角的大小，即可求出相应的晶面间距d值数列，从而确定样品晶体的结构。对于已知结构的晶体，还可以通过衍射效应确定晶体的空间方位及与相邻晶体间的位向关系，为研究金属相变及形变过程中的结构变化提供了有力的手段。 * 3.衍衬效应 在同一入射束照射下，由于样品相邻区域位向或结构不同，以致衍射束(或透射束，二者强度互补)强度不同而造成图亮度差别(衬度)，称为衍衬效应。它可显示单相合金晶粒的形貌，或多相合金中不同相的分布状况，以及晶体内部的结构缺陷等。 * * 第五章 电子与物质的交互作用 5.1 散 射 散射： 当一束聚焦电子沿一定方向射到样品上时，在样品物质原子的库仑电场作用下，入射电子方向将发生改变，称为散射。 原子对电子的散射分为： 弹性散射 非弹性散射。 在弹性散射中，电子只改变运动方向，基本上无能量变化。 在非弹性散射中，电子不但改变方向，能量也有不同程度的衰减，衰减部分转变为热、光、X射线、二次电子等。 * 5.1.1 原子核对电子的弹性散射 当入射电子从距原子核rn处经过时，由于原子核的正电荷Ze的吸引作用(Z是原子序数，e是电子的电荷)，入射电子偏离入射方向(见图)。 根据卢瑟福的经典散射模型，散射角θn的大小取决于瞄准距离rn、核电荷数Ze和入射电子的能量E0，其关系如下 ： * 除了考虑核对电子的散射作用外，还应考虑核电子的负电荷的屏蔽作用。 这种弹性散射是电子衍射及成像的基础，原子对入射电子在θn角方向的弹性散射振幅(即散射因子)是 * 5.1.2 原子核对电子的非弹性散射 非弹性散射，入射电子不但改变方向，并有不同程度的能量损失，因此速度减慢。损失的能量ΔE转化为X射线，它们之间的关系是 ΔE＝hν＝hc／λ 式中，h是普朗克常数，c是光速，γ及λ分别是X射线的频率与波长。 这种散射产生连续的无特征波长值的X射线辐射 并不反映样品结构或成分的任何特征， 但会产生背景信号，影响成分分析的灵敏度和准确度。 但根据近几年的研究表明，连续谱的强度数据在分析颗粒样品和粗糙表面样品的绝对浓度时是十分有用的。 * 5.1.3 核外电子对入射电子的非弹性散射 是一种非弹性散射 散射过程中入射电子所损失的能量部分转变为热 部分使物质中原子发生电离或形成自由载流子，并伴随着产生各种有用信息，如： 二次电子、俄歇电子、特征X射线、特征能量损失电子、阴极发光、电子感生电导等。 * 核外电子对入射电子的非弹性散射在电子衍射及透射电镜成像中，由于引起色差而增加背景强度及降低图像衬度，是有害的。 但是，在这种非弹性散射中产生的电离、阴极发光