电浆浸没离子注入PIII技术建立与测试-普物试验室科普推动团队.PDF

核研所物理組電漿表面改質實驗室 電漿及其在高科技產業應用之介紹 核研所物理組電漿表面改質實驗室 蔡文發 日期 : 102 年8月 23 日 1 內容 一、什麼是電漿? 二、電漿鍍膜技術及其應用 三、核研所放射性廢棄物電漿熔融爐 四、核融合發電 五、結論 六、有獎問答 2 一、什麼是電漿 (Plasma)? 電漿是 物質除了固態、液態、氣態之外的第四態 ，氣體持續加 熱，分子分解為原子，原子經由游離、解離與激發等三機制， 產生電漿態，如日光燈、太陽及閃電等 3 電漿例子 電漿電視 日光燈 4 原子模型 5 原子獲得能量游離 游離:產生帶正電荷離子與帶負電荷電子 產生: 1)帶正電荷離子 2)帶負電荷電子 e + A A+ + 2e 3)讓電漿具有導 體特性 6 原子獲得能量解離 2.解離 :產生活性根(radical) 氯化氫分子 (HCl) e + A 2A∙ + e 產生: 2 1)中性自由基原子 (粒子) e + AB A∙ + B∙ + e 2)帶有未配對電子，活性強。 3)讓電漿用於半導體元件清潔 製程 7 原子獲得能量激發 3.激發 電子由基態: (低能階 )至高能階激發態， 後續放出光子回到基態或停留介穩態 產生: e + A A* + e 1)中性介穩態原子 (粒子) A* A + hν(光子) 2)讓電漿具有發光特性