特此将AEMD平台设备目前状态进行梳-先进电子材料与器件校级平台.PDFVIP

2016 年元月16 日 星期日 2016 年第一期 总第二期 AEMD校级平台月报 联系电话：021 近期，平台经常收到用户邮件反映平台设备使用状态不明，特此将AEMD 平台设备目前状态进行梳理，以供平台各位用户参考。 对于维护中的设备给您的实验带来不便，深感抱歉！我们会尽快恢复设备状态，恢复对外开放服务！ Vistec EBPG-5200 电子束光刻系统 对外开放 光刻设备 SUSS MA6 双面对准光刻机 对外开放 Princision Imprint PI-D01 纳米压印机 对外开放 SVS OV-12 HMDS 烘箱 对外开放 光刻区 热处理设备 Suss Delta HP8 热板 对外开放 HP-303DU 热板 对外开放 SUSS 高性能涂胶机I 对外开放 旋涂设备 Laurell 650-8N 高性能涂胶机 对外开放 Ocean Optics 可见光膜厚测量仪 对外开放 Denton 电子束蒸发镀膜设备 对外开放 薄膜沉积设备 Denton 多靶磁控溅射镀膜系统 对外开放 西区 薄膜I 区 HARRICK 等离子清洗机（表面改性） 对外开放 微纳图形加工设备 Zeiss Auriga 场发射电子束/聚焦离子束双束系统 对外开放 测试设备 KLA-TencorP7 台阶仪(表面轮廓仪