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光学薄膜技术简介  Photop Confidential 光学薄膜的作用及回顾 光学薄膜在光学系统中的作用就是功能函数 光学薄膜发展的三个跃迁点: 1.真空的实现(1930) 2.激光的出现(1962) 3.光通讯技术的推动(1997) 光学薄膜从设计到制备过程 根据设计输入及经验确立膜系结构 使用设计软件并人为引导优化的方向进行设计 依据设备特点制定控制策略 测试制备结果 反演过程及调整控制策略 Photop Confidential 光学薄膜设计 输入：使用条件（入射角，入射介质，基片材料），光性要求（工作波长，反射率，透过率，偏振态，位相，颜色等） 输出：膜系，广义的是可直接执行的程序（RUNSHEET，包括控制方式及设置） 验证：（间接）分光光度计。 评价设计的标准: (容限,材料的种类,工艺时间) Photop Confidential 矩阵法 反射率 透射率 吸收率 反射相移 矢量法 如果忽略膜层内的多次反射，则合成的振幅反射系数由每一界面的反射系数的矢量和确定。每个界面的反射系数都联带着一个特定的相位滞后，它对应于光波从入射表面进至该界面又回到入射表面的过程 麦克劳得导纳图解技术简介 如果从基片开始通过每一层膜直到多层膜的前表面，把 平行于基片的任意平面处的光学导纳画在一复平面上则描述了整个生长过程中多层膜导纳的变化轨迹。对于每一层介质膜，导纳轨迹是圆心位于实轴上的园或圆弧。 增透膜和高反膜的导纳图(直接在软件上演示) 设计中常用工具 ?光学厚度层 nd=1/4*λ0 ?光学厚度层 nd=1/2*λ0 布儒斯特效应 典型膜系介绍 增透膜（减反膜）：为减少光在基片表面反射 反射膜(镜) :为增加光在基片表面反射 分光(束)膜:让部分光透射，部分光反射 滤光(分色)膜：让部分光透射，部分光截止不透过 负滤光膜 分光膜和滤光膜，在模系结构上会有相同，最大的区别就是:分光膜的透射光反射光都在光路里有应用，而滤光膜被滤掉的光不参与后期的光路 减反膜（增透膜） 1.减反膜的作用 增加光学系统的透过率 减少杂散光 提高象质 增加作用距离 2.减反膜几个重要的技术指标 使用的波段 使用角度或角度范围 剩余反射率要求 使用环境 在激光领域还有激光阈值要求 减反膜（增透膜） 3.减反膜的分类： 按层数分： a.单层减反膜 b.双层减反膜 c .多层减反膜 按用途分： a .单点减反膜 b .宽波段减反膜 c .双波段减反膜 d .宽角度减反膜 分光（分束）膜 一般来讲，分束膜总是倾斜使用，常用的是45度 分束膜的种类： 1.中性分束膜（也就是常说的消偏振NPBS） 2.偏振分束膜（也就是常说的PBS) 3.金属分束膜 优点：中性好，光谱范围宽，偏振效应小, 缺点：吸收大，激光阈值低） 4.介质分束膜 优点：吸收小，几乎可以忽略 缺点：光谱范围窄偏振分离明显，角度效应明显 分束膜的结构： 1.平板型 由于不可避免的象散问题只能用于中低要求的光学装置 2.棱镜型 PBS一般都用棱镜 滤光膜（滤光片） 我们把改变光束性质或改变光束颜色的膜叫做滤光膜 干涉截止滤光片 定义：要求某一波长的光束高透过率，而偏离这一区域的光束骤然截止 应用：照明上用的冷光碗上的冷光膜 ，舞厅里色彩变幻的旋转灯以及Ircut（双滤光片） 指标： 1. 透射曲线开始上升或下降时波长以及此曲线上升（或下降）的 许可斜率 2. 高透射带的光谱宽度，平均透射率以及在此透射带内许可的最小透射率 3.具有低透射率的反射带（抑制带）的光谱以及在此范围内许可的最大透射率 分类：长波通和短波通两类 带通滤光片 带通滤光片主要参数 1.中心波长，或峰值波长 2.中心波长透射率或峰值透射率 3.透过峰值透过率一半的波长宽度，也称通带宽度 根据膜层的不同，可分为： 1.金属滤光片 2.全介质滤光片 3.双半波，三半波全介质滤光片 4.金属诱导透射滤光片 介质带通滤光片的结构为：介质反射膜/间隔层/介质反射膜/间隔层/介质反射膜 ，但是滤光片也是混合结构，例如用一层金属膜（银膜）代替两间隔之间的介质反射膜形式如下：介质反射膜/间隔层/银膜/间隔层/介质反射膜，这是金属诱导透射滤光片的基本形式 这种滤光片的最大好处：长波无次峰、透射率较高 反射膜 在光学薄膜中，反射膜和增透膜几乎同样重要；光学仪器的反射系统中，纯金属膜的特性就可以，全介