XRF原理应用简介.ppt

X射线荧光分析的原理 波长射散型仪器 (WD-XRF) 电子?磁性材料 LSI 存储器 磁盘 磁头 液晶?CRT 磁铁 窑业 氮化硅 氧化铝 玻璃 耐火砖 釉子 钢铁 特殊钢 表面处理钢板 铁合金 铸铁?铸钢 铁矿石 电镀液 非铁金属 铝罐材料 形状记忆合金 铜合金 贵金属 镊合金 焊锡 矿业 矿石 岩石 火山灰 石油?煤炭 润滑脂 润滑油 切削油 煤油?柴油 环境 排放水 海水 河水 大气粉尘 产业废弃物 其他 土壤 岩石 植物 活体 食品 文物 核电 化学工业 催化剂 聚合物 医药品 肥料 颜料?涂料 油脂?洗涤剂 化妆品 Ｘ射线荧光光谱分析的特长　  １．非破坏分析?２．快速分析 ３．光谱线不受化学状态的影响?４．可方便地分析化学同族元素?５．分析范围广（4Be～92U；ppm～100%） ６．分析精度高、検測下限低 ７．全自动定性分析、ＦＰ法定量分析 ８．可进行膜厚和成分的同时分析 ９．分析样品制做简单 入射Ｘ射線 X射线荧光 核 电子 Moseleyの式： C, s: 定数 一次X射线 样品（不锈钢） 分光晶体 （衍射） Ｘ射线管 索拉狭缝 Ni Ka Fe Ka 检测器 Cr Ka X射线荧光 扫描型 索拉狭缝 由于荧光X射线分析法具有样品处理简单，快速并且精度高等特点，被灵活运用于工厂的品质管理，研究，开发等各种领域。 从半导体，情报产业等领域的电子，电机等尖端领域到石油化学产品（柴油，汽油，润滑油），钢铁及非铁，水泥，污泥，废弃物等，以及于环境相关的各个分析领域，都在广泛应用。 その中で，各種応用分析に対応した専用機の要求も増えつつあります． 卓上型装置の要求 安価で，手軽に定性分析?半定量分析ができ，設置面積が小さく，電源?冷却水等の特別な設備が要らない，ということで，卓上型装置が求められています． 次に簡単に蛍光Ｘ線分析法の原理をご説明させて頂きます。 Ｘ線管から照射された１次Ｘ線が試料にあたりますとこのように、原子の電子を弾き飛ばします。 弾きとばされた電子軌道はエネルギー順位的に不安定になり、上位の電子軌道から電子が移動して 安定なエネルギー順位になろうとします。 その時にエネルギー差が生じます。その一部が蛍光Ｘ線となります。 蛍光Ｘ線はMoseleyの式に従い、特定のエネルギーを持ったＸ線(電磁波)となります。 　 幅広く使用されています蛍光Ｘ線分析装置には波長分散型とエネルギー分散型があります。 こちらは分光結晶を用いてスペクトルを分離する 波長分散型蛍光Ｘ線分析装置WDX：Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence Spectrometer）です。 Ｘ線管から１次Ｘ線が照射され試料から発生した２次Ｘ線が各種の分光結晶で特定の角度で分光されます。 その分光された蛍光Ｘ線が検出器で検出され、電気信号に変換されます。 特定の角度で検出されるので定性分析が可能で、そのＸ線強度から定量分析を行います。