衬底偏压对掺铬类石墨碳膜组织性能及碳键结构的影响.PDFVIP

年 月 第 卷 第 期 ２０１４ １１ ３８ １１ 犞狅犾．３８犖狅．１１犖狅狏．２０１４ 　 衬底偏压对掺铬类石墨碳膜组织、性能 及碳键结构的影响 张永宏，杨丽雯，王玉梅，房东明 （陕西理工学院材料科学与工程学院，汉中７２３０００） 摘 要：采用非平衡磁控溅射离子镀技术在不同衬底偏压下沉积了掺铬类石墨非晶碳膜，研究 　 了衬底偏压对其显微组织、硬度、内应力、结合强度和碳键结构的影响，着重分析了衬底偏压对碳膜 硬度的影响机理。结果表明：随着衬底偏压增大，掺铬类石墨碳膜的显微组织先是趋于致密化，偏 压过大时则会形成受损的凝絮状结构，而碳膜的硬度、内压应力和结合强度均先增后减；碳膜的硬 度和内压应力在 偏压下达到最大，分别为 和 ，此时的碳膜具有最致密 －９０Ｖ ３２９５ＨＶ １．１３３ＧＰａ ３ 的显微组织和最高含量的 碳组分；碳膜的结合强度则在 偏压下达到最大，其临界载荷 ｓ －６５Ｖ ｐ 为５３．８Ｎ；掺铬类石墨碳膜硬度的变化与碳膜的碳键结构、内应力和显微组织的演变存在明显的 相关性。 关键词：非晶碳膜；衬底偏压；碳键结构；硬度 中图分类号： ； 文献标志码： 文章编号： （ ） ＴＢ４３Ｏ４８４．５ Ａ １０００３７３８２０１４１１００６６０６ 　　　 　　　 ， 犐狀犳犾狌犲狀犮犲狊狅犳犛狌犫狊狋狉犪狋犲犅犻犪狊犞狅犾狋犪犲狅狀犕犻犮狉狅狊狋狉狌犮狋狌狉犲犘狉狅犲狉狋犻犲狊犪狀犱犆犪狉犫狅狀 犵 狆 犈犾犲犿犲狀狋′狊犞犪犾犲狀犮犲犅狅狀犱犛狋狉狌犮狋狌狉犲狅犳犆狉犱狅犲犱犌狉犪犺犻狋犲犾犻犽犲犆犪狉犫狅狀犉犻犾犿 狆 狆 ， ， ， 犣犎犃犖犌犢狅狀犺狅狀 犢犃犖犌犔犻狑犲狀 犠犃犖犌犢狌犿犲犻犉犃犖犌犇狅狀犿犻狀 犵 犵 犵 犵 （ ， ， ， ） ＳｃｈｏｏｌｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｉｎｅｅｒｉｎ ＳｈａａｎｘｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏ Ｈａｎｚｈｏｎ ７２３０００ Ｃｈｉｎａ ｇ ｇ ｙ ｇｙ ｇ ： 犃犫狊狋狉犪犮狋Ｃｒｄｏｅｄ ｒａｈｉｔｅｌｉｋｅａｍｏｒｈｏｕｓｃａｒｂｏｎｆｉｌｍｓｗｅｒｅｄｅｏｓｉｔｅｄｂ ｕｎｂａｌａｎｃｅｄｍａｎｅｔｒｏｎｓｕｔｔｅｒ ｐ ｇ ｐ ｐ