先进制造工艺技术方法.pptVIP

微机械概述 微机械基本特征 体积小，精度高，重量轻 性能稳定，可靠性高 能耗低，灵敏度和工作效率高 多功能和智能化 适用于大批量生产，制造成本低 微机械概述 微机械的研究内容 理论基础 微电子学、微机械学、微光学、微动力学、微流体力学、微热力学、微摩擦学、微结构学和微生物学等共同构成了微机械研究的理论基础 技术基础 微机械涉及的基本技术主要有：微机械设计、微机械材料、微细加工、微装配与封装、集成技术、微测量、微能源、微系统控制等 微机械概述 微机械的研究内容 应用研究 微型传感器 微型执行器 微型光机电器件和系统 微型机器人 微型飞行器 微型动力系统 微细加工技术 微细加工(microfabrication)是指加工尺度为微米级范围的加工方式 制造微机械常采用的微细加工又可以进一步分为微米级微细加工(micro-fabrication)，亚微米级微细加工(sub-micro-fabrication)和纳米级微细加工(nano-Micro- fabrication)等 微细加工技术 从基本加工类型看，微细加工可大致分四类： 分离加工——将材料的某一部分分离出去的加工方式，如分解、蒸发、溅射(可去除材料，也可增加材料)、破碎等 接合加工——同种或不同材料的附和加工或相互结合加工，如蒸镀、淀积、掺入、生长、黏结等 变形加工——使材料形状发生改变的加工方