先进制造技术方法3(生物制造与微纳制造).pptVIP

沈阳工业大学 1）光刻电铸（LIGA）技术 工艺过程： ①采用深层同步辐射光刻，涂覆光致抗蚀剂（图a），经X射线曝光蚀刻出图形（图b）； ②电铸，以曝光蚀刻的图形实体作为电铸用胎模，用电沉积法在胎模上沉积金属（图c），生成微铸件（图d） ③注射成形，以微铸件为模具，即可加工所要求的微零件（图e）。 纳米加工技术 LIGA法的工艺过程 a）涂覆光致抗蚀剂 b）X射线曝光蚀刻 c）电铸 d）微铸件 e）注射成形零件 d） 沈阳工业大学 2）半导体加工技术 半导体加工技术即半导体表面和立体的微细加工，指在以硅为主要材料的基片上进行沉积、光刻与蚀刻的工艺过程。半导体加工技术使微系统的制作具有低成本、大批量生产的潜力。 纳米加工技术 沈阳工业大学 3）集成电路（IC）技术 集成电路（IC）技术是一种发展十分迅速且较成熟的制作大规模电路的加工技术，在微机械加工中使用较为普遍，是一种平面加工技术。但该技术的刻蚀深度只有数百纳米，且只限于制作硅材料的零部件。 纳米加工技术 沈阳工业大学 4）超微机械加工和电火花线切割加工 用小型精密金属切削机床及电火花、线切割等加工方法，制作毫米级尺寸左右的微机械零件，是一种三维实体加工技术，加工材料广泛，但多是单件加工、单件装配，费用较高。 纳米加工技术 沈阳工业大学 5）键合技术 键