GE涂层坩埚外观检查标准(电路级).docVIP

外观标准 #102 – 污物 (表面) (DRT) 定义: 在坩埚的内表面或外表面上的外来物质。如表面簿膜、灰尘、水斑或周边污染。（见表面外业物质“暴露的夹杂物”） 规定: 不可见 #104 – 细裂纹或裂纹 (CRKX) 定义: 石英坩埚表面上的任何表面裂纹。 细裂纹是细的开裂线，其以“V”形稍稍进入坩埚壁，当在检验灯下检验时，可以看到是一亮线。裂缝稍大，可看到是一线性裂口或由撞击而成的一圆形表面图形（有时呈彩虹色） 规定: 不可见 #105 – 崩边 (CHPX) 定义: 坩埚表面有部分埚壁缺损而形成的完整的碎裂。 1)内圈 定义: 内表面上距开口10mm（0.4英寸）内的崩边 规定: 没有未修补过的崩边、修过的崩边；其最大尺寸为 水平方面10mm，垂直方面5 mm (0.4(0.2). 2) 顶部圆周平面 定义: 坩埚顶部园周平面内一完整的缺损（透明区域） 规定: 没有未修补过的崩边，修过的崩边；其最大深度为0.7 mm (.028) 3) 外圈 定义: 坩埚外表面上自顶部开口端起12.7mm（0.5(）内的崩边。 规定: 无未修补的崩边、修过的崩边最大尺寸为12 mm x 12 mm (.47x.47). 修补必须符合最小壁厚规则，即开口端起6.4 mm (1/4”)以下。 4) 坩埚体内 定义: 在坩埚